[发明专利]一种三氯氢硅生产过程中伴生气体的处理工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种气体的处理工艺，尤其是一种三氯氢硅生产过程中伴生气体的处理工艺。

背景技术

目前，在四氯化硅(SiCl4)生产三氯氢硅(SiHCl3)的过程中，伴生出来的气体含有硅粉、氯化氢、氢气等物质，直接排放不但是资源的浪费还污染空气。

发明内容

本发明为解决伴生气体排放污染空气的问题，提出一种三氯氢硅生产过程中伴生气体的处理工艺。

本发明的技术方案：①除尘：将三氯氢硅生产过程中伴生气体在除尘设备中回收硅粉再利用，初步净化伴生气体；②淋洗：在两级淋洗塔中，高温条件下，用四氯化硅淋洗初步净化后的伴生气体，对伴生气体没有除净的硅粉吸收到四氯化硅溶液中；③沉淀：将淋洗后的四氯化硅溶液在沉淀槽中沉淀，进行无害化处理；④气体分离：将淋洗后的伴生气体进行冷冻分离，然后用压缩机进行压缩冷冻分离后的气体；⑤吸收：压缩冷冻分离后的气体送入氯化氢分离塔中吸收气体中含有的氯化氢，然后进行对氢气的吸附净化；⑥废气处理：经过吸收后的气体送入废气处理塔中，用碱液净化气体，净化的气体经阻火器排空，被吸收的液体进入到废液处理池中。

本发明的有益效果是：净化了废弃的排放，减少了对空气的污染，对废弃物进行了回收利用，降低了生产成本。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明进一步进行说明：

实施例1：

①除尘：将三氯氢硅生产过程中伴生气体在除尘设备中回收硅粉再利用，初步净化伴生气体；

②淋洗：在两级淋洗塔中，高温条件下，用四氯化硅淋洗初步净化后的伴生气体，对伴生气体没有除净的硅粉吸收到四氯化硅溶液中；

③沉淀：将淋洗后的四氯化硅溶液在沉淀槽中沉淀，进行无害化处理；

④气体分离：将淋洗后的伴生气体进行冷冻分离，然后用压缩机进行压缩冷冻分离后的气体；

⑤吸收：压缩冷冻分离后的气体送入氯化氢分离塔中吸收气体中含有的氯化氢，然后进行对氢气的吸附净化；

⑥废气处理：经过吸收后的气体送入废气处理塔中，用碱液净化气体，净化的气体经阻火器排空，被吸收的液体进入到废液处理池中。

实施例2：

将淋洗后的四氯化硅溶液在沉淀槽中沉淀后，四氯化硅溶液送入精馏塔中进行精馏再利用。