[发明专利]一种排列晶粒的模具

说明书

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，具体地说是涉及一种排列晶粒的模具。

背景技术

在半导体加工过程中，需要将多个晶粒整齐地排列起来，所使用的工具就是模具，现有技术中一种模具是中间具有多个孔的整体结构，这样的模具具有加工费事、成本高的缺点；还有一种是由纵横两组模具片组成的，纵横两组模具片具有相互啮合的相对缺口，其啮合以后之间形成多个孔，可以安放晶粒，这样的模具具有稳定性差、个别模片容易散落的缺点。

发明内容

本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种稳定性好、模片不易脱落、成本低的排列晶粒的模具。

本发明的技术方案是这样实现的：排列晶粒的模具，其特征是：由框体和模具片组组成，多个模具片组成模具片组，所述的模具片组又由纵模具片组和横模具片组组成，纵模具片组和横模具片组具有相互啮合的相对缺口，其啮合以后之间形成多个孔；框体具有辖住模具片组的结构，纵模具片组和横模具片组啮合后，辖在框体内。

模具片组的周围还具有出头部分，为了安装更牢固，框体还具有辖住模具片组出头部分的辖槽，出头部分辖在辖槽内。

本发明的有益效果是：

1、由于有框体，其具有稳定效果好的特点；

2、由于框体有辖槽，模片不易脱落；

3、由框体和模具片组组成的分体结构，具有成本低的优点。

附图说明

图1是本发明排列晶粒的模具的结构示意图

图2是模具片的结构示意图

图3是框体的结构示意图

其中；1、框体  2、模具片  3、缺口  4、辖槽  5、出头部分

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的描述。

如图1所示，排列晶粒的模具，其特征是：由框体1和模具片2组组成，多个模具片2组成模具片组，所述的模具片组又由纵模具片组和横模具片组组成，纵模具片组和横模具片组具有相互啮合的相对缺口3，其啮合以后之间形成多个孔；框体1具有辖住模具片组的结构，纵模具片组和横模具片组啮合后，辖在框体内。

模具片组的周围还具有出头部分5，如图2所示，为了安装更牢固，框体1还具有辖住模具片组出头部分的辖槽4，如图3所示，出头部分5辖在辖槽4内。

安放时，纵横两组模具片2相对缺口3相互啮合后安放在框体1中，辖槽4辖住出头部分5，两组模具片2间隔成的孔可以安放晶粒。