[发明专利]安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置及电学测试方法

权利要求书

1.安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置，包括样品平台、电路部分，其特征在于它还包括一个能放入扫描探针显微镜中的原位电学测量平台，其上设置一个支撑部分为绝缘衬底(4)的探针夹持器(3)，探针夹持器(3)杠杆式安装在绝缘衬底(4)上，并通过连接电缆(2)外接可控电压源。

2.根据权利要1所述一种安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置，其特征在于所述的原位电学测量平台为金属托架(1)。

3.根据权利要1或2所述一种安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置，其特征在于所述的探针夹持器(3)为一端带压紧弹簧(5)的镀金铜片。

4.根据权利要3所述一种安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置，其特征在于所述的绝缘衬底(4)材质为聚醚砜工程塑料。

5.根据权利要4所述一种安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置，其特征在于所述的样品平台为直径2cm的金属圆片。

6.一种安装在扫描探针显微镜中的原位微型单元大电流测量装置的电学测试方法，包括以下步骤：

1)在计算机屏幕上绘制显示I/V坐标图(即电流电压关联图)，X轴为电压量，Y轴为电流量；

2)按屏幕提示输入本次样品测试值，具体为扫描电压量，扫描速率和电流限制量；

3)计算机控制插在计算机主机扩展槽上的D/A数模转换器，将输入的数字化电压量转变为模拟量电压输出；

4)计算机控制插在计算机主机扩展槽上的A/D模数转换器，采集电流采样器上的模拟量电流值；

5)计算机控制插在计算机主机扩展槽上的A/D模数转换器，将电流采样器上的模拟量电流值，转变为数字化电流值；

6)计算机按编制程序的计算公式，计算出绘图数据及实时实验数据，判断继续扫描还是结束扫描：

若继续扫描回到第二步，获取新的扫描数值；

若结束扫描，则进入绘图程序及数据存储程序并结束本次实验。