[发明专利]一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪

权利要求书

1.一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，包括：激光光源(18)、起偏器(19)、半波片(23)、偏振分光镜(24)、第一1/4波片(25)、第一五棱镜(26)、第二五棱镜(27)、待测筒状非球面镜(28)、旋转平台(29)、第二1/4波片(30)、参考平面镜(31)、傅里叶变换透镜(32)、CCD相机(33)；其特征在于还包括：直角棱镜(20)、多光束分光器(21)、光阑(22)；在激光光源(18)的光传播方向上，在光轴上依次放置起偏器(19)、直角棱镜(20)，直角棱镜(20)一直角面与光轴垂直，斜面与光轴成45度夹角；在直角棱镜(20)反射光的光轴上依次置有多光束分光器(21)、光阑(22)、半波片(23)、偏振分光镜(24)、第二1/4波片(30)、参考平面镜(31)；多光束分光器(21)由两块梯形棱镜组成，梯形斜边与底边的夹角在85～87度之间，两个梯形棱镜的斜面为工作面，两斜面保持严格平行且中间有一厚度为1mm的空隙，在多光束分光器(21)下面的光阑(22)和半波片(23)的工作面与光轴垂直，偏振分光镜(24)的分光面与光轴45度放置，以偏振分光镜(24)为中心，右边依次放置傅里叶透镜(32)、CCD相机(33)，CCD相机(33)放置在傅里叶变换透镜(32)的焦面上，用于干涉条纹的成像；左边依次放置第一1/4波片(25)、第一五棱镜(26)，第一五棱镜(26)的一个直角面为入射面，该直角面与光轴垂直且正对第一1/4波片，另一直角面为出射面；第二五棱镜(27)置于第一五棱镜(26)的正下方，第一五棱镜(26)的出射面与第二五棱镜(27)的入射面平行相对，第二五棱镜(27)的出射面正对待测筒状非球面镜(28)的内表面；待测筒状非球面镜(28)放置在旋转平台(29)上，使待测筒状非球面镜(28)的轴与旋转平台(29)的转轴重合。