[发明专利]超精密电液伺服控制的动静压轴承与进给机构

权利要求书

1.一种超精密电液伺服控制的进给机构，包括有分别通过8个小孔节流器(2)向主 轴机构(3)供油的第一供油系统(1)，其特征在于，还设置有通过电液伺服阀(15) 向主轴机构(3)中的前定心动静压轴承(B)供油的第二供油系统(16)；所述主轴机 构(3)是由主轴(4)、套在主轴(4)前端的前定心动静压轴承套(8)、套在主轴(4) 后端的动静压轴承套(11)和设置在主轴(4)前端的静压止推轴承套(6)及法兰(5) 构成；所述前定心动静压轴承套(8)和动静压轴承套(11)的内周面上都设置有均布的 四个承压槽(12)和四个回油槽(13)，动静压轴承套(11)的四个承压槽(12)由所 述第一供油系统(1)通过四个所述小孔节流器(2)供油，所述前定心动静压轴承套(8) 的垂直方向的两个承压槽(12)由所述第一供油系统(1)通过所述小孔节流器(2)供 油，而水平方向的两个承压槽(12)通过所述电液伺服阀(15)由第二供油系统(16) 供油；前定心动静压轴承套(8)和动静压轴承套(11)的四个回油槽(13)均与油箱(14) 相通；静压止推轴承套(6)经由所述小孔节流器(2)由第一供油系统(1)供油，位于 主轴(4)前端的前定心动静压轴承套(8)上的两个通过所述电液伺服阀(15)供油的 承压槽(12)中的一个设置有一电容位移传感器(17)，所述的电容位移传感器(17) 依次通过第一放大器(18)、比较器(19)和第二放大器(10)与所述电液伺服阀(15) 连接，所述的比较器(19)还接收已设定的用于与电容位移传感器(17)所传信号进行 比较的指令信号。

2.根据权利要求1所述的超精密电液伺服控制的进给机构，其特征是：所述的第一 供油系统(1)与第二供油系统(16)结构相同。

3.一种超精密电液伺服控制的进给机构，包括有分别通过8个小孔节流器(2)向 主轴机构(3)供油的第一供油系统(1)，其特征在于，还设置有通过电液伺服阀(15) 向主轴机构(3)中的前定心动静压轴承(B′)供油的第二供油系统(16)；所述主轴 机构(3)是由主轴(4)、套在主轴(4)前端的前定心动静压轴承套(8′)、套在主 轴(4)后端的动静压轴承套(11)和设置在主轴(4)前端适当位置的静压止推轴承套 (6)及法兰(5)构成；所述前定心动静压轴承套(8′)的内周面上设置有3对6个均 布承压槽(12)和六个回油槽(13)，每对承压槽(12)均由一个所述电液伺服阀(15) 控制供油，共有三个电液伺服阀分别对三对承压槽(12)进行供油控制，所述的三个电 液伺服阀均由第二供油系统(16)供油，所述的三个电液伺服阀结构参数完全相同，六 个回油槽(13)均与油箱(14)相通；静压止推轴承套(6)经由所述小孔节流器(2) 由第一供油系统(1)供油，前定心动静压轴承套(8′)的3对承压槽(12)上各设置1 个电容位移传感器(17)，3个所述的电容位移传感器(17)中的每一个依次通过与该电 容位移传感器(17)对应的第一放大器(18)、比较器(19)和第二放大器(10)与所 述电液伺服阀(15)连接，所述的比较器(19)还接收已设定的用于与电容位移传感器 (17)所传信号进行比较的指令信号。