[发明专利]激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置无效
申请号: | 200910071289.5 | 申请日: | 2009-01-16 |
公开(公告)号: | CN101493311A | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 谭久彬;胡鹏程;杨宏兴;刁晓飞 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 外差 干涉仪 误差 自动 补偿 装置 | ||
1、一种激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置,包括:空气折射率测量仪(1)、激光外差干涉仪的控制单元(2)、偏振分光棱镜(6)、参考棱镜(7)、测量棱镜(8),其特征在于:在与参考棱镜相对的偏振分光棱镜(6)的一侧同光轴位置依次放置偏振片(5)和激光长度测量仪(3);偏振片(5)固定在电动旋转平台(4)上;电动旋转平台(4)、激光长度测量仪(3)、空气折射率测量仪(1)分别通过控制总线与激光外差干涉仪的控制单元(2)相连;空气折射率测量仪(1)探头传感器放置在偏振分光棱镜(6)与测量棱镜(8)之间。
2、根据权利要求1所述的激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置,其特征在于:电动旋转平台(4)的可旋转角度大于90度。
3、根据权利要求1所述的激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置,其特征在于:激光长度测量仪(3)测量范围大于激光外差干涉仪测量范围。
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