[发明专利]瞬间移相干涉二次共焦测量装置与方法无效
| 申请号： | 200910071663.1 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101520305A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;刘涛;赵晨光;王伟波 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 瞬间 相干 二次 测量 装置 方法 | ||
1.一种瞬间移相干涉二次共焦测量装置，包括：激光器(1)、聚焦物镜(2)、照明针孔(3)、扩束准直物镜(4)、偏振分光镜(6)、第一四分之一波片(7)、平面反射镜(8)、探测聚焦物镜(10)、微驱动器(11)以及由第一收集物镜(13)、第一探测针孔(16)和第一光电探测器(19)组成的第一干涉信号接收装置；其特征在于，所述装置还包括：二分之一波片(5)、第二四分之一波片(9)、同步移相模块(12)、由第二收集物镜(14)、第二探测针孔(17)和第二光电探测器(20)组成的第二干涉信号接收装置、由第三收集物镜(15)、第三探测针孔(18)和第三光电探测器(21)组成的第三干涉信号接收装置；其中，二分之一波片(5)置于扩束准直物镜(4)和偏振分光镜(6)之间，第一四分之一波片(7)置于偏振分光镜(6)和平面反射镜(8)之间，第二四分之一波片(9)置于偏振分光镜(6)和探测聚焦物镜(10)之间；第一收集物镜(13)、第二收集物镜(14)和第三收集物镜(15)相同，第一探测针孔(16)、第二探测针孔(17)和第三探测针孔(18)相同，第一光电探测器(19)、第二光电探测器(20)和第三光电探测器(21)相同；第二四分之一波片(9)与第一四分之一波片(7)放置的快轴方向相同。
2.一种瞬间移相干涉二次共焦测量方法，其特征在于，所述方法包括步骤：
1)探测聚焦物镜固定，在第一种共焦状态下，控制第一光电探测器、第二光电探测器和第三光电探测器同步采集输出，利用三步移相算法得到测量光相对于参考光的相位；
2)微驱动器驱动探测聚焦物镜产生微小位移量，形成第二种共焦状态，控制第一光电探测器、第二光电探测器和第三光电探测器同步采集输出，利用三步移相算法再次计算测量光相对于参考光的相位；
3)测量参考面复位，第一共焦状态测量点离焦位移解算，修正二次共焦引入的复位误差。
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