[发明专利]冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法有效
| 申请号： | 200910072376.2 | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101580965A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20;C30B15/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 刘 娅 |
| 地址： | 150431黑龙江省哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷心放肩 微量 提拉法 生长 尺寸 蓝宝石 快速 退火 方法 | ||
1.一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的退火工艺方法，其特征在于：采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，此时压力为10-4Pa，不关电源，减小加热电压，使晶体生长炉内温度以20-25℃/h的速率下降，待炉内温度降至1700℃后，恒温4-8小时；继续减小加热电压，使晶体生长炉内温度以15-20℃/h的速率下降，待晶体生长炉内温度降至1100℃后，恒温2-4小时；继续减小加热电压，使晶体生长炉内温度以10-15℃/h的速率下降；待晶体生长炉内温度降至600℃后，继续减小加热电压，使晶体生长炉内温度以15-20℃/h的速率下降；降至400℃后，继续减小加热电压，使晶体生长炉内温度以25-30℃/h的速率下降；待晶体生长炉内温度降至300℃后，继续减小加热电压，使晶体生长炉内温度以30-35℃/h的速率下降；待加热电压降至零后，通入惰性气体1-3次进行快速冷却，使晶体生长炉内温度降至80℃，压力增至104Pa，退火处理能够降低大直径、高膨胀系数晶体的晶格空位、晶格畸变、位错的缺陷密度，并防止开裂。
2.根据权利要求1所述的冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的退火工艺方法，其特征在于所述的通入的惰性气体为高纯氩气，分成1-3次进行，最终使晶体生长炉内温度降至80℃。
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