[发明专利]一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备装置及其制备方法

权利要求书

1、高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备装置，它由带有金属塞的绝缘接头(1)、抽真空部件(2)、绝缘体(3)、上部真空罩(5)、下部真空罩(6)、导电进气管(7)和偏压/高频复合等离子体电源(8)组成；其特征在于带有金属塞的绝缘接头(1)安装在抽真空部件(2)上端面并采用螺纹连接同时用O型圈密封，抽真空部件(2)与上部真空罩(5)通过绝缘体(3)螺纹连接同时用O型圈密封，下部真空罩(6)靠气动方式压在上部真空罩(5)上并用O型圈密封，抽真空部件(2)、绝缘体(3)、上部真空罩(5)和下部真空罩(6)之间形成真空室(9)，导电进气管(7)由带有金属塞的绝缘接头(1)伸入真空室(9)内且底端位于上部真空罩(5)的下部，偏压/高频复合等离子体电源(8)的功率输出端接上部真空罩(5)和下部真空罩(6)，接地端接导电进气管(7)和抽真空部件(2)。

2、采用权利要求1所述装置制备高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜方法，其特征在于高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法按以下步骤实现：一、将塑料瓶(4)放入真空室(9)中，塑料瓶(4)同真空室(9)同轴放置，利用真空泵由抽真空部分对真空室(9)抽真空，抽至气压为3～5Pa后，经导电进气管(7)向塑料瓶(4)内部通入15～55Pa的反应气体；二、开通偏压/高频复合等离子体电源(8)，功率输出端接上部真空罩(5)和下部真空罩(6)，接地端接导电进气管(7)和抽真空部件(2)，调节偏压/高频复合等离子体电源(8)的射频功率为50～300W、直流偏压为-100～+100V，输出在直流电位振荡的高频电压会产生高密度等离子体，对薄膜进行沉积10～300s，即在塑料瓶内壁制得高质量阻隔薄膜。

3、根据权利要求2所述的一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法，其特征在于步骤一中反应气体为乙炔和氩气的混合气体、甲烷和氩气的混合气体、甲苯和氩气的混合气体、六甲基硅氧烷和氧气的混合气体、硅烷和氧气的混合气体、乙炔、甲烷或甲苯。

4、根据权利要求3所述的一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法，其特征在于乙炔和氩气是按10∶1～1∶1的体积比混合、甲烷和氩气是按10∶1～1∶1的体积比混合、甲苯和氩气是按10∶1～1∶1的体积比混合、六甲基硅氧烷和氧气是按1∶1～1∶5的体积比混合、硅烷和氧气是按1∶1～1∶5的体积比混合。

5、根据权利要求2或3所述的一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法，其特征在于步骤一中抽至气压为4Pa后，经进气管向塑料瓶内部通入35Pa的反应气体。

6、根据权利要求5所述的一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法，其特征在于步骤二中调节偏压/高频复合等离子体电源的射频功率为200W。

7、根据权利要求2、3或6所述的一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法，其特征在于步骤二中直流偏压为50V。

8、根据权利要求7所述的一种高质量塑料瓶内壁阻隔薄膜的制备方法，其特征在于步骤二中沉积时间为60s。