[发明专利]一种应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法无效
| 申请号： | 200910074353.5 | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101570846A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 陟成刚;王超;唐宾;张翔宇;刘俊;谢燕翔 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;F24J2/48 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人： | 戎文华 |
| 地址： | 030024山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用 离子 氮化 工艺 制备 太阳能 吸收 涂层 方法 | ||
1.一种应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法，包括铝合金管的预处理方法，离子氮化工艺，其特征是将预处理后的铝合金管置入离子氮化炉中，通入氩气，在气压为20～60Pa下，调节电压400～600V，溅射清洗后，再通入氮气或氨气，增压至200～400Pa后，控制氩气和氮气体积比为0.2～1或者氩气和氨气体积比为0.5～1，在工作电压为500～800V，工作温度为240～500℃下对铝合金管表面进行离子氮化，保温1～2小时后，在铝合金管表面生成成分梯度变化的渐变AlN-Al，即为太阳能吸收涂层。
2.权利要求1所述的应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法，其特征是在设置有石墨电极的离子氮化炉中通入氩气，在气压为40Pa，电压为550V下溅射清洗后，再通入氮气，控制氩气和氮气的体积比为0.4，增压至400Pa，调节电源电压为700V，调节石墨极电压500V，保持温度为450℃，对铝合金管表面进行离子氮化，保温1小时，在铝合金管表面生成成分梯度变化的渐变AlN-Al，即为太阳能吸收涂层。
3.权利要求1所述的应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法，其特征是在设置有石墨电极的离子氮化炉中通入氩气，在气压为30Pa，电压为450V下溅射清洗后，再通入氨气，控制氩气和氨气的体积比为1.0，增压至350Pa，调节电源电压为650V，调节石墨极电压400V，保持温度为400℃，对铝合金管表面进行离子氮化，保温1.5小时，在铝合金管表面生成成分梯度变化的渐变AlN-Al，即为太阳能吸收涂层。
4.权利要求2或3所述的应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法，其特征在于石墨电极是网状、格栅状或者是平板状的海绵型多孔石墨电极。
5.权利要求1所述的应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法，其特征是离子氮化炉中通入的氮气为99.99％的高纯氮。
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