[发明专利]CMP抛光液供应系统无效
| 申请号： | 200910075364.5 | 申请日： | 2009-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN101648365A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 廖垂鑫;柳滨;陈威 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201河北省三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cmp 抛光 供应 系统 | ||
【权利要求书】：
1、一种CMP抛光液供应系统，其特征在于其包括抛光液存储罐(6)、设置在抛光液存储罐(6)内的由搅拌电机(3)和搅拌叶片(5)构成的搅拌装置、设置在抛光液存储罐(6)内的冷却液管(4)以及设置在抛光液存储罐(6)内的温度传感器(9)，去离子水管(10)和抛光液管(11)通过三位三通电磁阀(1)、液体流量计(2)和抛光液存储罐(6)相连通。
2、根据权利要求1所述的CMP抛光液供应系统，其特征在于在抛光液存储罐(6)内的上端设置有上液位传感器(7)、在抛光液存储罐(6)内的下端设置有下液位传感器(8)。
3、根据权利要求1或2所述的CMP抛光液供应系统，其特征在于三位三通电磁阀(1)的一个入口接抛光液管(11)，另一个入口接去离子水管(10)，当三位三通电磁阀(1)处于中位时，三位三通电磁阀(1)关闭，当三位三通电磁阀(1)处于右位时，接通抛光液管(11)；当三位三通电磁阀(1)处于左位时，接通去离子水管(10)。
4、根据权利要求1或2所述的CMP抛光液供应系统，其特征在于搅拌电机(3)设置在抛光液存储罐(6)中央的正上方，和搅拌电机(3)的传动轴相连接的搅拌叶片(5)设置在抛光液存储罐(6)液面以下。
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