[发明专利]一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器有效
| 申请号： | 200910076561.9 | 申请日： | 2009-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN101769936A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 赵湛;杜利东;方震;韩有君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12;G01P5/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 拖动 原理 热线 集成 式微 风速 传感器 | ||
1.一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器，其特征在于： 包括边框(8)，热式测量风速部分(1)和机械式测量风速部分(2)，两 部分位于边框(8)内；其中，
热式测量风速部分(1)包括：双端固支悬梁(3)和热线电阻(4)；
双端固支悬梁(3)位于边框(8)内上部，两端固定于边框(8)的 两侧边内侧，走向与边框(8)轴向正交；
热线电阻(4)覆置于双端固支悬梁(3)的表面，热线电阻(4)的 端头位于边框(8)侧边的表面；
机械式测量风速部分(2)包括：薄板(5)、敏感梁(6)、应变传感 器(7)；
薄板(5)位于边框(8)内下部，侧边与敏感梁(6)一端固接，敏 感梁(6)另一端固定于边框(8)侧边内侧，敏感梁(6)走向与边框(8) 轴向相同或垂直；
应变传感器(7)覆置于敏感梁(6)的表面，应变传感器(7)的端 头位于边框(8)侧边的表面。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述热线电阻(4) 的数目至少为一根；形状为U形。
3.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于：所述热线电阻 (4)为两根，形状为U形，以热线电阻头相对的方式覆置于双端固支悬 梁(3)的表面，热线电阻两端头为两引出线接线端，接线端分别位于边 框(8)两侧边的表面。
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述薄板(5)的形 状为正方形或长方形或圆型。
5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述敏感梁(6)的 数目至少为一根，敏感梁(6)的位置以薄板(5)的轴向中线两边对称排 列。
6.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于：所述敏感梁(6) 为两根，位于薄板(5)下侧与边框(8)下侧边内侧之间。
7.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于：所述敏感梁(6) 为四根，两根位于薄板(5)下侧与边框(8)下侧边内侧之间，另两根分 别位于薄板(5)两侧与边框(8)两侧边内侧之间，另两根走向与边框(8) 轴向正交。
8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述应变传感器(7) 的数目与敏感梁(6)的数目相同，应变传感器(7)为U形，以U形头向 边框(8)内的方式覆置于敏感梁(6)的表面，U形的两端头为两引出线 接线端，接线端分别位于边框(8)侧边的表面。
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