[发明专利]双扭杆谐振扫描反射镜

权利要求书

1.双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：包含以下组成部分：

A扫描反射镜组件(1)，包含有两根扭转杆(13A，13B)和反射镜镜身(40)，在与扫描反射镜机械谐振频率相同的周期力激励下产生与激励力幅度对应的绕两杆连线的往复振动；

所述的扫描反射镜组件(1)中，两根扭转杆(13A，13B)在反射镜镜身(40)两边对称分布，两根扭转杆(13A，13B)的连线通过反射镜镜身(40)的对称中心；

B支撑系统，由基板(5)和支臂(9A，9B)组成，为扫描反射镜组件(1)提供必要的支撑和约束；

C驱动系统(41)，由永磁体(21A、21B)和驱动线圈(2A，2B)构成，用来驱动扫描反射镜组件(1)振动；

D位置反馈系统(42)，由压电位置传感器(20A、20B)及反馈信号处理电路(24)组成，用来获取与扫描反射镜组件(1)的振幅成比例的位置反馈信号；

F闭环控制系统，由驱动系统(41)、位置反馈系统(42)、驱动信号产生电路(23)组成，用来控制扫描反射镜组件(1)的稳定振动；

所述的位置反馈系统(42)中，压电位置传感器(20A、20B)利用压电晶体的压电特性和谐振机械系统加速度曲线与位置曲线具有相同形式的特点获取扫描反射镜的角位置，两个压电位置传感器对(20A、20B)在扫描反射镜镜身(40)上，在旋转轴(35)的两侧对称安装，形成差分信号源对。

2.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：所述的扫描反射镜组件(1)还包含有扫描反射镜镜面(11)，所述的扫描反射镜镜面(11)在反射镜镜身(40)上抛光获得或将加工好的反射镜零件固定于反射镜镜身(40)上。

3.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：所述的反射镜镜身(40)底部以及侧面具有减少转动惯量的减重槽(26)。

4.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：所述的扫描反射镜组件(1)中反射镜镜身(40)与两根扭转杆(13A，13B)整体加工而成或是反射镜镜身零件与两根扭转杆零件装配而成。

5.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：所述的支撑系统，由支臂(9A，9B)与基板(5)一体加工或由支臂零件与基板零件固连形成。

6.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：所述的驱动系统(41)中，两个永磁体(21A，21B)固定于扫描反射镜镜身(40)上，两个驱动线圈(2A，2B)固定于基板上，对应的永久磁铁和驱动线圈对构成动磁电磁驱动器，两个驱动器形成力偶，驱动信号在驱动线圈中产生的交变磁场与永久磁铁的磁场发生相互作用产生推动扫描反射镜做扭摆振动的交变力。

7.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：所述的驱动系统(41)中，两个永久磁铁(21A，21B)的磁极相同或相反，驱动线圈(2A，2B)串联连接或并联连接只要具备形成力偶的条件即可。

8.根据权利要求1所述的双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：压电位置传感器(20A、20B)包含有外壳(29)、压圈(30)、压电晶体(31)、粘结剂(32)，阳极引线(33)、阴极引线(34)，其中压电晶体(31)一极通过粘结剂(32)固连于外壳(29)上，另一极成自由状态；压圈(30)位于压电晶体(31)自由状态的一侧；阴极引线(34)及阳极引线(33)连接到压电晶体(31)的两极。