[发明专利]一种生产线设备的控制装置及控制系统有效

专利信息
申请号: 200910076960.5 申请日: 2009-01-14
公开(公告)号: CN101464691A 公开(公告)日: 2009-06-24
发明(设计)人: 付金生 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 代理人: 李 艳
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 生产线 设备 控制 装置 控制系统
【权利要求书】:

1.一种生产线设备的控制装置,所述生产线设备包括多个受控器件,其特征在于,所述控制装置位于工控机中,通过通讯卡和各个受控器件相连,所述控制装置包括:

运行模式控制模块,用于控制各功能控制模块运行模式的设置及转换;所述运行模式包括自动模式和分立模式;所述自动模式是将所有功能控制模块交由调度模块进行自动控制;所述分立模式是中止其中一个或多个功能控制模块的执行序列,并启动其人工手动操作的权限,以及,将其它功能控制模块交由调度模块进行自动控制;

配置模块,用于配置各功能控制模块驱动受控器件所执行的动作及执行序列;

调度模块,包括读取子模块和线程维护子模块,所述读取子模块用于从配置模块读取所需功能控制模块的执行动作及执行序列;所述线程维护子模块用于针对各个功能控制模块维护相应的线程;

至少一个功能控制模块,包括序列执行子模块,用于在相应的线程中驱动相应的受控器件按照所述执行动作及执行序列运行。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述运行模式还包括手动模式,所述手动模式是中止所有功能控制模块的执行序列,并在生产线设备安全互锁的前提下,将其交由人工手动进行单独信号和功能操作。

3.如权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述运行模式还包括维护模式,所述维护模式是中止所有功能控制模块的执行序列,并在屏蔽生产线设备部分安全互锁的前提下,将其交由人工手动进行单独信号操作。

4.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述运行模式控制模块依据外部模式控制命令进行模式设置及转换;或者,所述运行模式控制模块依据调度模块的通知进行模式设置及转换。

5.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述调度模块还包括:高效控制子模块,用于在功能控制模块执行某个动作、某几个动作或整个动作序列的时间超过相应的预设时间阈值时,产生报警信息或提示信息,并通知所述运行模式控制模块将当前功能控制模块的自动模式转换为分立模式。

6.如权利要求1或5所述的装置,其特征在于,所述调度模块还包括:运行状态控制子模块,用于在功能控制模块执行某个动作、某几个动作或整个动作序列出错时,产生报警信息或提示信息,并通知所述运行模式控制模块将当前功能控制模块的自动模式转换为分立模式。

7.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述运行模式控制模块进一步包括:

运行状态查询子模块,用于在所述运行模式控制模块控制某个功能控制模块从自动模式转换为分立模式时,获得所述功能控制模块的动作序列执行情况;

中止操作子模块,用于在所述功能控制模块执行完当前动作后,停止继续执行相应的动作序列,并记录动作中止点。

8.如权利要求7所述的装置,其特征在于,所述运行模式控制模块进一步包括:

动作恢复子模块,用于在所述运行模式控制模块控制某个功能控制模块从分立模式转换为自动模式时,读取所述功能控制模块的动作中止点,继续执行相应的动作序列;

权限控制子模块,用于关闭所述功能控制模块的人工手动操作权限。

9.如权利要求1求所述的装置,其特征在于,所述生产线设备为等离子增强化学气相沉积设备,所述装置包括以下功能控制模块:

预热腔功能控制模块,其中的序列执行子模块,用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行:传片、加热、抽真空、充大气、送片的动作组合成的序列;

反应腔功能控制模块,其中的序列执行子模块,用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行:传片、加热、抽真空、工艺、吹扫、送片的动作组合成的序列:

冷却腔功能控制模块,其中的序列执行子模块,用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行:传片、冷却、抽真空、充大气、送片的动作组合成的序列;

载板传动功能控制模块,其中的序列执行子模块,用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行:载板装载、载板卸载、载板回收的动作组合成的序列。

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