[发明专利]一种氧化锌径向同质结及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌径向同质结，其特征在于，以氧化锌为基，在掺杂氧化锌六棱短柱外包覆一层未掺杂氧化锌，掺杂元素为镓或者铟。

2.一种氧化锌径向同质结的制备方法，其特征在于，

步骤一：采用镓或氧化铟作为氧化锌中掺杂元素的蒸发源，采用锌粉做锌源，按10∶1～20∶1的摩尔比称取锌粉和镓或按40∶1～80∶1的摩尔比称取锌粉和氧化铟，将锌粉放入石英舟中，将镓或氧化铟与石墨粉以1∶7～1∶3的摩尔比混合后形成混合源，放入石英舟中，其中锌粉放在氩气气流的入口方向，混合源相对于锌粉放在气流下游位置，取干净的硅片置于混合源的正上方或气流下游位置，将装有蒸发源和硅片的石英舟推入水平管式炉中进行化学气相沉积，将管式炉以12～18℃/min的速度升至880～920℃，保温20～30min，等炉温降至室温后取出硅片；

步骤二：将摩尔比为1∶1的硝酸锌Zn(NO₃)₂·6H₂O和六亚甲基四胺C₆H₁₂N₄配成溶液，硝酸锌和六亚甲基四胺溶液的浓度为22.5～75mM，再用电磁搅拌炉加热到80～95℃，然后将步骤一制备的硅片上有沉积物的一面朝下，使其悬浮于液面上或悬挂于液体中，2～4小时后从溶液中取出硅片，在去离子水或无水乙醇中漂洗，晾干后得到具有径向同质结结构的氧化锌。

3.如权利要求2所述的氧化锌径向同质结的制备方法，其特征在于，步骤一中所述化学气相沉积过程始终通入流量为80～120sccm的氩气作为保护气体和载气。

4.如权利要求2所述的氧化锌径向同质结的制备方法，其特征在于，步骤一中所述混合源和锌源之间的距离为0～5mm。

5.如权利要求2所述的氧化锌径向同质结的制备方法，其特征在于，步骤一中所述硅片置于距混合源0～2cm处。