[发明专利]大口径可拆卸压电变形反射镜无效
申请号: | 200910080575.8 | 申请日: | 2009-03-20 |
公开(公告)号: | CN101504487A | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 张小军;官春林;姜文汉;饶长辉;邓建明;许鸿;叶青秀;牟进博 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G02B26/06 | 分类号: | G02B26/06;G02B26/08;H01L41/09;H02N2/00 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 李新华;徐开翟 |
地址: | 610209*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 口径 可拆卸 压电 变形 反射 | ||
1、一种大口径可拆卸压电变形反射镜,包含有镜面(1)、底座(3)、压电驱动器(4);其特征在于:在镜面(1)和压电驱动器(4)之间夹有一块弹性片(2),压电驱动器(4)与弹性片(2)顶紧但无机械或胶粘连接,压电驱动器(4)是可拆卸的。
2、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:还包括有一个精密螺纹调节结构(5),用于调节弹性片(2)与压电驱动器(4)之间的预紧力大小或变形镜面形。
3、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:所述的压电驱动器(4)与弹性片(2)顶紧的一端粘结金属球头。
4、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:所述镜面(1)与弹性片(2)之间可以机械连接也可以胶粘连接。
5、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:所述弹性片(2)具有可调节的横向刚度和轴向刚度。
6、根据权利要求5所述的弹性片(2),其特征在于:弹性片(2)横向刚度是通过调节柔性铰链细颈直径φ,从而实现变形反射镜交连值的调节。
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