[发明专利]大口径可拆卸压电变形反射镜无效

专利信息
申请号: 200910080575.8 申请日: 2009-03-20
公开(公告)号: CN101504487A 公开(公告)日: 2009-08-12
发明(设计)人: 张小军;官春林;姜文汉;饶长辉;邓建明;许鸿;叶青秀;牟进博 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G02B26/06 分类号: G02B26/06;G02B26/08;H01L41/09;H02N2/00
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人: 李新华;徐开翟
地址: 610209*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 口径 可拆卸 压电 变形 反射
【权利要求书】:

1、一种大口径可拆卸压电变形反射镜,包含有镜面(1)、底座(3)、压电驱动器(4);其特征在于:在镜面(1)和压电驱动器(4)之间夹有一块弹性片(2),压电驱动器(4)与弹性片(2)顶紧但无机械或胶粘连接,压电驱动器(4)是可拆卸的。

2、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:还包括有一个精密螺纹调节结构(5),用于调节弹性片(2)与压电驱动器(4)之间的预紧力大小或变形镜面形。

3、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:所述的压电驱动器(4)与弹性片(2)顶紧的一端粘结金属球头。

4、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:所述镜面(1)与弹性片(2)之间可以机械连接也可以胶粘连接。

5、根据权利要求1所述的一种大口径可拆卸压电变形反射镜,其特征在于:所述弹性片(2)具有可调节的横向刚度和轴向刚度。

6、根据权利要求5所述的弹性片(2),其特征在于:弹性片(2)横向刚度是通过调节柔性铰链细颈直径φ,从而实现变形反射镜交连值的调节。

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