[发明专利]对玻璃微流控芯片刻蚀时起保护作用的保护膜的制备方法

权利要求书

1.一种对玻璃微流控芯片刻蚀时起保护作用的保护膜的制备方法，该方法包括制作玻璃微流控芯片时的在玻璃基片上镀铬牺牲层、涂胶、烘胶、紫外曝光、显影、去玻璃基片上裸露的铬牺牲层、湿法刻蚀、去胶、去除除去胶层后玻璃基片上的铬牺牲层、在500～600℃下封合步骤；其特征在于：在显影步骤后及在接着进行的去铬牺牲层步骤之前，用草酸、马来酸、马来酸酐、乙酸、三氯乙酸、苯磺酸、酒石酸、柠檬酸、消旋苹果酸所组成的组中的至少一种调节质量浓度为15～37％的甲醛水溶液或质量浓度为2～25％的戊二醛水溶液的pH为2～5.5，然后在室温下将烘干的在含有线性酚醛树脂的正性光刻胶表面带有掩膜图形的玻璃基片浸泡在上述pH为2～5.5的甲醛水溶液或戊二醛水溶液中10～40分钟，使甲醛分子或戊二醛分子浸润到含有线性酚醛树脂的正性光刻胶基质当中；把浸泡好的玻璃基片用蒸馏水冲洗干净，然后在100～155℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应，使含有线性酚醛树脂的正性光刻胶交联成具有体型成网状结构的保护膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征是：在100～155℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应的时间为10～45分钟。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征是：将烘干的在含有线性酚醛树脂的正性光刻胶表面带有掩膜图形的玻璃基片浸泡在pH为2～2.8的质量浓度为15％～22％的甲醛水溶液或质量浓度为2％～6％的戊二醛水溶液中10～15分钟，使甲醛分子或戊二醛分子浸润到含有线性酚醛树脂的正性光刻胶基质当中；把浸泡好的玻璃基片用蒸馏水冲洗干净，然后在100～110℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应10～15分钟，使含有线性酚醛树脂的正性光刻胶交联成具有体型成网状结构的保护膜。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征是：将烘干的在含有线性酚醛树脂的正性光刻胶表面带有掩膜图形的玻璃基片浸泡在pH为2.8～3.2的质量浓度为22％～26％的甲醛水溶液或质量浓度为6％～10％的戊二醛水溶液中15～20分钟，使甲醛分子或戊二醛分子浸润到含有线性酚醛树脂的正性光刻胶基质当中；把浸泡好的玻璃基片用蒸馏水冲洗干净，然后在110～120℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应15～20分钟，使含有线性酚醛树脂的正性光刻胶交联成具有体型成网状结构的保护膜。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征是：将烘干的在含有线性酚醛树脂的正性光刻胶表面带有掩膜图形的玻璃基片浸泡在pH为3.2～3.7的质量浓度为26％～30％的甲醛水溶液或质量浓度为10％～14％的戊二醛水溶液中20～25分钟，使甲醛分子或戊二醛分子浸润到含有线性酚醛树脂的正性光刻胶基质当中；把浸泡好的玻璃基片用蒸馏水冲洗干净，然后在120～130℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应20～25分钟，使含有线性酚醛树脂的正性光刻胶交联成具有体型成网状结构的保护膜。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征是：将烘干的在含有线性酚醛树脂的正性光刻胶表面带有掩膜图形的玻璃基片浸泡在pH为3.7～4的质量浓度为30％～33％的甲醛水溶液或质量浓度为14％～17％的戊二醛水溶液中25～30分钟，使甲醛分子或戊二醛分子浸润到含有线性酚醛树脂的正性光刻胶基质当中；把浸泡好的玻璃基片用蒸馏水冲洗干净，然后在130～135℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应25～30分钟，使含有线性酚醛树脂的正性光刻胶交联成具有体型成网状结构的保护膜。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征是：将烘干的在含有线性酚醛树脂的正性光刻胶表面带有掩膜图形的玻璃基片浸泡在pH为4～4.4的质量浓度为33％～35％的甲醛水溶液或质量浓度为17％～20％的戊二醛水溶液中30～35分钟，使甲醛分子或戊二醛分子浸润到含有线性酚醛树脂的正性光刻胶基质当中；把浸泡好的玻璃基片用蒸馏水冲洗干净，然后在135～145℃下使甲醛或戊二醛与含有线性酚醛树脂的正性光刻胶中的线性酚醛树脂成份发生交联反应30～35分钟，使含有线性酚醛树脂的正性光刻胶交联成具有体型成网状结构的保护膜。