[发明专利]一种采用多模干涉耦合的光延时器

权利要求书

1.一种采用多模干涉耦合的光延时器，其特征在于，该光延时器采用全通滤波器结构，该全通滤波器结构是若干个微环谐振腔依次与总线波导耦合的结构，其中微环谐振腔与总线波导之间的耦合段为2×2多模干涉耦合器。

2.根据权利要求1所述的采用多模干涉耦合的光延时器，其特征在于，所述多模干涉耦合结构采用硅基微纳米线波导作为输入输出波导，根据多模干涉自成像理论的重叠成像条件设计2×2多模干涉耦合器。

3.根据权利要求1所述的采用多模干涉耦合的光延时器，其特征在于，根据多模干涉自成像理论的一般重叠成像条件，通过调节多模干涉耦合器的结构参数改变耦合器的分光比，进而调节微环谐振腔的带宽与光延时。

4.根据权利要求1所述的采用多模干涉耦合的光延时器，其特征在于，该光延时器采用以下材料体系：SOI基、有机聚合物、氮化硅/氧化硅、氮氧化硅/氧化硅，以及无定形硅/氧化硅。