[发明专利]平板显示用刻蚀液有效
| 申请号： | 200910083934.5 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101585662A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 关 畅;任凤华 |
| 地址： | 621000四川省绵阳*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平板 显示 刻蚀 | ||
【权利要求书】：
1.平板显示用刻蚀液，由草酸、三氟甲基苯磺酸和水组成；
所述草酸占所述刻蚀液总重的1～10％，所述三氟甲基苯磺酸占所述刻蚀液总重的0.5～5％，余量为水；
所述刻蚀液用于刻蚀平板显示中氧化铟锡ITO导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的刻蚀液，其特征在于：所述草酸占所述刻蚀液总重的1-5％；所述三氟甲基苯磺酸占所述刻蚀液总重的1～5％。
3.根据权利要求2所述的刻蚀液，其特征在于：所述草酸占所述刻蚀液总重的2～5％；所述三氟甲基苯磺酸占所述刻蚀液总重的1～3％。
4.一种制备权利要求1所述平板显示用刻蚀液的方法，是将草酸、三氟甲基苯磺酸和水混匀，得到所述刻蚀液；
所述草酸占所述刻蚀液总重的1～10％；所述三氟甲基苯磺酸占所述刻蚀液总重的0.5～5％；余量为水；
所述混匀的温度为20-30℃。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述草酸占所述刻蚀液总重的1-5％；所述三氟甲基苯磺酸占所述刻蚀液总重的1～5％；余量为水。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述草酸占所述刻蚀液总重的2～5％；所述三氟甲基苯磺酸占所述刻蚀液总重的1～3％；余量为水。
7.权利要求1所述刻蚀液在刻蚀平板显示中氧化铟锡ITO导电薄膜中的应用。
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