[发明专利]一种组合式三维高速扫描装置

权利要求书

1.一种组合式三维高速扫描装置，其特征在于：该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描；

所述的高速一维扫描器包括固定片A、B和双层压电陶瓷片，所述的双层压电陶瓷片一端通过固定片A、B固定连接，另一端为自由端，自由端末端上表面粘接样品台，或者自由端末端下表面粘接探针；所述固定片A、B通过固定底座与三维扫描器连接，或者固定片A、B与探针固定架连接；所述的双层压电陶瓷片的一层作为激振片，另一层作为检测片，激振片连接到高速扫描电压输出端，用于驱动双层压电陶瓷片自身并同时带动样品台或者探针在其共振频率附近做横向振动，实现x方向高速扫描，检测片连接到电压检测输入端；所述的三维扫描器用于实现y方向扫描以及z方向控制。

2.根据权利要求1所述的一种组合式三维高速扫描装置，其特征在于：所述的双层压电陶瓷片为矩形。

3.根据权利要求1所述的一种组合式三维高速扫描装置，其特征在于：三维扫描器为一个单管式压电陶瓷管，沿Z轴正方向设置，单管式压电陶瓷管上端与绝缘固定环粘接，绝缘固定环上连接样品台或者高速一维扫描器。

4.根据权利要求3所述的一种组合式三维高速扫描装置，其特征在于：单管式压电陶瓷管的外壁被分为四个相等的电极，分别连接到+X扫描电压输出端、-X扫描电压输出端、+Y扫描电压输出端和-Y扫描电压输出端，单管式压电陶瓷管的内壁电极连接至Z扫描电压输出端。

5.根据权利要求1所述的一种组合式三维高速扫描装置，其特征在于：三维扫描器为一个平板式三维扫描器，该平板式三维扫描器上连接样品台。