[发明专利]掺杂气发生装置有效
申请号: | 200910088628.0 | 申请日: | 2009-06-30 |
公开(公告)号: | CN101937822A | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | 张仲夏;李徽;张阳天;林津;刘建华 | 申请(专利权)人: | 同方威视技术股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02;H01J49/26;G01N27/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王新华 |
地址: | 100084 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掺杂 发生 装置 | ||
1.一种为离子迁移谱仪提供掺杂气的掺杂气发生装置,包括:
掺杂罐;
进气管,所述进气管的进口端与载气气路的上游侧连接,其出口端与掺杂罐连接;
出气管,所述出气管的进口端与掺杂罐连接,其出口端与载气气路的下游侧连接;
掺杂气发生单元,其用于释放掺杂剂气体,其中掺杂气发生单元置于所述掺杂罐中。
2.根据权利要求1所述的掺杂气发生装置,其特征在于所述掺杂气发生单元包括:
瓶体;以及
掺杂剂,所述掺杂剂放置在所述瓶体中。
3.根据权利要求2所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述掺杂剂为固态掺杂剂;以及
所述瓶体包括可拆卸的上开口瓶盖,所述瓶盖上设置有小孔,以允许所述固态掺杂剂的挥发气体逸出。
4.根据权利要求2所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述掺杂剂为液态掺杂剂;
所述瓶体的上开口上设置有渗透膜,既能防止液态掺杂剂洒漏,又能使掺杂气通过渗透膜渗出。
5.根据权利要求1或2所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述进气管的所述进口端设置有两位三通电磁阀;以及
所述出气管的出口端设置有两位两通电磁阀。
6.根据权利要求5所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述进气管的所述出口端与所述出气管的进口端大致沿所述瓶体的对角线方向延伸。
7.根据权利要求6所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述进气管的所述出口端延伸到所述瓶体的底部;以及
所述出气管的进口端从所述瓶体的上部延伸出以与载气气路的下游侧连接。
8.根据权利要求2-4中任何一项所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述掺杂罐的下端设置有可拆卸地连接到掺杂罐上的底盖,所述底盖上设置有固定所述瓶体的支架。
9.根据权利要求1-4中任何一项所述的掺杂气发生装置,还包括加热控温装置,所述加热控温装置包括:
围绕所述掺杂罐外周壁的加热膜;
检测所述掺杂罐的温度的温度传感器;
基于温度控制器检测的温度来控制所述掺杂罐的温度的温度控制器;以及
覆盖在所述加热膜的外部以密封所述掺杂罐的绝热保温层。
10.根据权利要求3所述的掺杂气发生装置,其特征在于:
所述瓶体和瓶盖由硬质耐腐蚀材料制成。
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