[发明专利]采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统

权利要求书

1.一种采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，包括基台(11)、硅片台组和硅片台驱动装置，其特征在于：所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面电机，磁悬浮平面电机的定子(21)设置在基台顶部，平面电机的动子(24)设置在硅片台底部；所述磁悬浮平面电机采用动圈式永磁磁悬浮平面电机、动铁式永磁磁悬浮平面电机或磁悬浮感应式平面电动机；所述动圈式永磁磁悬浮平面电机的定子或动铁式永磁磁悬浮平面电机的动子采用平面永磁阵列，所述平面永磁阵列包括大永磁体(18)、小永磁体(19)和过渡永磁体(17)，大永磁体、小永磁体和过渡永磁体分别沿竖直方向、水平方向和与竖直方向成45度角方向充磁；所述大永磁体垂直于Z轴方向的截面为正方形，在平面内按N-S极交错排列成平面阵列；所述小永磁体排列在两个相邻大永磁体的正中间，充磁方向从沿Z轴正方向充磁的大永磁体指向沿Z轴负方向充磁的大永磁体，且与小永磁的一条沿X轴或Y轴方向的棱边平行；所述过渡永磁体排列在相邻的大永磁体和小永磁体之间，充磁方向与相邻永磁体充磁方向都成45°夹角。

2.按照权利要求1所述的一种采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，其特征在于：所述动圈式永磁磁悬浮平面电机的动子或动铁式永磁磁悬浮平面电机的定子由n个在以硅片台质心为原点的坐标系中关于X轴对称分布且关于Y轴对称分布的X向电磁单元与Y向电磁单元组成，n为大于等于2的整数；X向电磁单元由多个线圈沿X轴方向线性排列而成；Y向电磁单元由多个线圈沿Y轴方向线性排列而成；线圈带铁芯或不带铁芯。

3.按照权利要求2所述的一种采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统：所述动圈式永磁磁悬浮平面电机的动子或动铁式永磁磁悬浮平面电机的定子由2个X向电磁单元与3个Y向电磁单元组成；组成电磁单元的线圈不带铁芯。