[发明专利]一种类金刚石镀膜玻璃及其制备方法无效
申请号: | 200910089738.9 | 申请日: | 2009-07-22 |
公开(公告)号: | CN101602273A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 王烁;徐伯永;宋宇;李彬;陈可明;李鹏 | 申请(专利权)人: | 天津南玻节能玻璃有限公司;天津南玻工程玻璃有限公司 |
主分类号: | B32B9/04 | 分类号: | B32B9/04;B32B17/06;B32B7/02;C23C14/35;C23C14/06;C03C17/34 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁 挥;祁建国 |
地址: | 301700天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种类 金刚石 镀膜 玻璃 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及镀膜玻璃技术领域,尤其涉及一种类金刚石镀膜玻璃及其制备方法。
背景技术
目前,镀膜玻璃由于其优良的性能已经在各个领域得到了广泛的应用,然而,其在运输和储藏的过程中,基片膜层容易划伤、磨损,并且,其银层容易氧化,另外,镀膜玻璃在进行各种冷加工和热处理,如切片、磨边,夹层等处理后,物理化学性能容易发生改变,针对此问题,目前国内大部分玻璃深加工企业使用PE有机贴膜保护基片膜层,它可以起到一定的保护效果。然而,使用基片时,需人工揭膜,该保护膜不能重复利用且不易降解,批量使用会造成大量的固体废物,而这对环境造成了严重的负面影响。
因此,找到一种合适的环保材料替代PE有机保护膜对于本领域而言已经势在必行。
发明内容
本发明的目的在于提供一种类金刚石镀膜玻璃及其制备方法,以克服现有PE有机保护膜需人工揭膜,不易降解而造成大量的固体废物的缺陷。
为实现上述目的,本发明提出一种类金刚石镀膜玻璃,包括:玻璃基片;功能膜层,镀制于玻璃基片表面;以及类金刚石膜层,镀制于功能膜层表面。
其中,该功能膜层为可钢化低辐射膜层、不可钢化的低辐射膜层或阳光控制膜层。
其中,较佳地,该功能薄膜最外层的物质为Si3N4、Ti3N4、TiO2、SnO2、SiO2、ZnO或SnZnO3。
其中,该功能膜层最外层的厚度较佳为10~120nm。
其中,该类金刚石膜层的材料较佳为C或CN4。
其中,该类金刚石膜层的厚度较佳为5~40nm,更佳为10~30nm,最佳为15~20nm。
而且,为实现上述目的,本发明提出一种类金刚石镀膜玻璃的制备方法,包括以下步骤:
步骤1:提供一玻璃基片;
步骤2:在玻璃基片表面沉积功能膜层;
步骤3:在该功能膜层表面沉积一类金刚石膜层。
其中,该步骤2及步骤3中的沉积方式为磁控溅射沉积。
较佳地,该磁控溅射沉积在真空级数为10-610-3mbar级的工作气氛下,在氩气气体气氛中,在氩气流量为1200sccm的条件下以及在8KW的溅射功率下进行。
其中,该功能膜层为可钢化低辐射膜层、不可钢化的低辐射膜层或阳光控制膜层。
较佳地,该功能薄膜最外层的物质为Si3N4、Ti3N4、TiO2、SnO2、SiO2、ZnO或SnZnO3。
其中,该功能膜层最外层的沉积厚度为10~120nm。
其中,该类金刚石膜层的材料较佳为C或CN4。
其中,该类金刚石膜层的沉积的厚度较佳为5~40nm。
其中,于步骤2中,沉积该功能膜层或者该功能薄膜的最外层所使用的靶材较佳为Si,SiAl,Ti,Zn,Sn,ZnAl,ZnSn,该功能膜层的内层可以包括TiO2层、NiCr层、Ag层、Cu层、SiO2层、ZnO层、SnZnO3层等常规的膜层材料。
其中,于步骤3中,沉积该类金刚石膜层的靶材较佳为石墨。
本发明所提供的类金刚石镀膜玻璃及其制备方法,由于类金刚石薄膜具有高硬度且抗氧化性强,该膜层可避免PE有机贴膜的一系列问题,该薄膜对基片膜层起到很好的保护效果,在运输和储藏的过程中,可以防止基片膜层划伤、延缓银层氧化速度。并且,本发明采用磁控溅射方式制备,镀制膜层具有硬度高、膜面外观均匀等优点,并且与功能膜层之间附着力好,同时,镀制该膜层的基片仍可进行各种冷加工和热处理,如切片、磨边,夹层、合中空玻璃等。另外,该薄膜可通过钢化、半钢化或弯钢化等热处理方式去除,去除后基片恢复原有膜层结构及性能。
附图说明
图1为本发明类金刚石镀膜玻璃的简单结构示意图;
图2为本发明实施例1的类金刚石镀膜玻璃的结构示意图;
图3为本发明实施例2的类金刚石镀膜玻璃的结构示意图;
图4为本发明实施例3的类金刚石镀膜玻璃的结构示意图;
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