[发明专利]磁控管装置

权利要求书

1.一种磁控管装置，设置于靶材的一侧，所述靶材包括外环区域和位于外环区域内的中心区域，其特征在于，所述磁控管装置包括：

外环区磁控管，位于所述外环区域；

中心区磁控管，位于所述中心区域；

旋转机构，分别与所述外环区磁控管和中心区磁控管连接；其中，

所述旋转机构带动所述外环区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动，并带动所述中心区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动或小行星轨迹旋转运动。

2.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述外环区域包括至少两个半径不等的同心子外环区，则所述外环区磁控管包括相应的至少两个子外环区磁控管。

3.根据权利要求1或2所述的磁控管装置，其特征在于，所述外环区磁控管或所述子外环区磁控管包括至少一个磁体组，所述磁体组以靶材中心为转轴同步旋转。

4.根据权利要求3所述的磁控管装置，其特征在于，所述至少一个磁体组的中心位于以靶材中心为圆心的不同圆周或同一圆周上。

5.根据权利要求4所述的磁控管装置，其特征在于，所述至少一个磁体组沿圆周方向均匀分布。

6.根据权利要求2所述的磁控管装置，其特征在于，各个所述子外环区磁控管的旋转机构可以相同或各自独立，其旋转方向可以彼此相同或相反。

7.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述旋转机构包括：与所述外环区磁控管连接的外环区旋转机构，与所述中心区磁控管连接的中心区旋转机构；其中，所述外环区旋转机构和中心区旋转机构相关或不相关。

8.根据权利要求7所述的磁控管装置，其特征在于，所述中心区磁控管以靶材中心为转轴作圆周旋转运动时，所述中心区旋转机构包括转动部和连接部，所述连接部沿径向将所述转动部和磁体组连接。

9.根据权利要求7所述的磁控管装置，其特征在于，所述中心区磁控管以靶材中心为转轴作小行星轨迹旋转运动时，所述中心区旋转机构包括中心转动部、径向连接部、行星转动部和行星连接部，其中，所述径向连接部沿径向将所述中心转动部和行星转动部连接，所述行星连接部将所述行星转动部和磁体组连接。

10.根据权利要求9所述的磁控管装置，其特征在于，所述行星转动部连接于行星连接部的中间位置，所述行星连接部的两端分别连接磁体组和负载部，或者分别连接两个磁体组。

11.根据权利要求7所述的磁控管装置，其特征在于，所述外环区旋转机构包括转动部和连接部，所述连接部沿径向将所述转动部和磁体组连接。

12.根据权利要求3所述的磁控管装置，其特征在于，各个所述磁体组的磁体排布方式可以彼此相同或不同。