[发明专利]接触力测量基板及接触力测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及基板的传送或清洗技术，尤其涉及一种接触力测量基板及接触力测量方法，属于液晶显示器制造领域。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，简称：TFT-LCD)或半导体器件的生产制造过程中，需要对设置有TFT-LCD或半导体器件相关图案的基板进行传送或清洗，故生产线上有很多传送设备或清洗设备。这些设备会直接接触TFT-LCD或半导体器件的相关图案，当接触力较大时，会对基板的特性产生影响。

以在TFT-LCD生产工艺中，对阵列基板的毛刷清洗过程为例，清洗时在基板的上下两侧均设置有毛刷，在毛刷清洗过程中，如果毛刷的压入量过多，毛刷会对阵列基板产生较大的接触力，进而对阵列基板的特性产生显著的影响，致使更多的N+残留等不良的发生，甚至压碎基板。但是，在实际生产过程中，毛刷压入量是通过手动来调节的，所以现有技术不能准确控制毛刷的压入量而使得毛刷对阵列基板的特性产生影响。

同理，现有技术不能准确控制传送设备或清洗设备对基板产生的接触力而使得传送设备或清洗设备对图案的特性产生影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种接触力测量基板及接触力测量方法，利用该接触力测量基板能够准确控制传送设备或清洗设备对基板产生的接触力。

本发明提供了一种接触力测量基板，包括：压电晶体和基板；所述压电晶体设置在基板的表面；所述压电晶体的一端为检测电压输入端，另一端为检测电压输出端。

本发明提供了一种接触力测量方法，包括：

通过检测电压输入端向压电晶体输入检测电压；

当接触力测量基板受到接触力时，通过检测电压输出端输出检测电压；

对输出的检测电压进行处理，得到所述接触力的大小。

本发明提供的接触力测量基板及接触力测量方法可以用于测量与传送设备或清洗设备接触时的接触力，进而能准确控制传送设备或清洗设备对基板产生的接触力，减小或消除传送设备或清洗设备对基板的特性产生的影响。

附图说明

图1为本发明接触力测量基板实施例一的结构示意图；

图2为图1中A-A向的剖面示意图；

图3为本发明接触力测量基板实施例二的结构示意图；

图4为本发明接触力测量方法一实施例的流程图。

具体实施方式

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

本发明提供了一种接触力测量基板，该接触力测量基板包括压电晶体和基板。其中，压电晶体设置在基板的表面。该压电晶体的一端为检测电压输入端，另一端为检测电压输出端。该接触力测量基板可以用于测量与传送设备或清洗设备接触时的接触力，以便生产人员进行调整，进而能准确控制传送设备或清洗设备对基板产生的接触力，减小或消除传送设备或清洗设备对基板的特性产生的影响。

图1为本发明接触力测量基板实施例一的结构示意图。如图1所示，本实施例具体包括压电晶体11和基板12，压电晶体11设置在基板12的表面。压电晶体11的一端为检测电压输入端13，压电晶体11的另一端为检测电压输出端14。本实施例中，压电晶体11的形状为Z型(具体可以为ZigZag型的任意形式)，该Z型的压电晶体11均匀分布在基板12的表面，压电晶体11大部分平行于基板长边。实际生产中，也可以将压电晶体11的大部分和基板短边平行或者随意设置，只要均匀分布在基板12上均可。当然也可以有数个Z型压电晶体11，这样的话就具备多个检测电压输入端13和检测电压输出端14。

图2为图1中A-A向的剖面示意图。如图2所示，压电晶体11包括上层传力元件15、下层传力元件16及位于上层传力元件15和下层传力元件16之间的两层压电材料17，在两层压电材料17之间还设有电极18。压电材料17为压敏片材料，可以选用石英，也可以选用由高分子材料构成、压电系数高和灵敏度高的有机压电材料，下面以石英为例进行说明。上层传力元件15和下层传力元件16可以为耐磨耐腐蚀的金属材料，如钢等金属材料。