[发明专利]一种脉冲气体激光器的横向放电装置

权利要求书

1.一种脉冲气体激光器的横向放电装置，主要由主放电阳极、主放电阴极、管状同轴结构预电离器组成；其中：

主放电阳极与主放电阴极上下相对安装，两者之间设有一间距，构成主放电电极对，由主放电电极对之间构成激光器工作气体主放电空间；

两组管状同轴结构预电离器，分别位于主放电电极对的侧面，其对称轴与主放电电极对的对称轴平行；

管状同轴结构预电离器最内层为导电金属材质的内电极管，该内电极管的长度大于或等于主放电空间长度，内电极管连接有导线；在内电极管的外侧设有绝缘电介质材料，构成电介质管；电介质管外侧套设有若干个导电金属材质的外电极环，与内电极管同轴向地排列而成，每两个相邻的外电极环之间设置一绝缘挡片，以避免相邻的外电极组件相互连接或放电形成电气连通。

2.根据权利要求1所述脉冲气体激光器的横向放电装置，其中，内电极管为圆管状或圆柱状结构。

3.根据权利要求1所述脉冲气体激光器的横向放电装置，其中，绝缘电介质管为板材、管材或棒材加工制成，或由电介质膜卷制而成。

4.根据权利要求1所述脉冲气体激光器的横向放电装置，其中，外电极环上均连接有放电针，放电针的放电尖端向外伸展，所有放电针的放电尖端呈一直线。

5.根据权利要求4所述脉冲气体激光器的横向放电装置，其中，放电针为片状、针状、圆柱状或其它形状。

6.根据权利要求4或5所述脉冲气体激光器的横向放电装置，其中，放电针采用焊接、嵌插或螺钉紧固方法固定于外电极环上。

7.根据权利要求4或5所述脉冲气体激光器的横向放电装置，其中，放电针的放电尖端与主放电阴极侧面相对，与主放电阴极之间形成预电离火花间隙；或两组管状同轴结构预电离器放电针的放电尖端两两相对，放电尖端之间形成预电离火花间隙。