[发明专利]行星研磨机

权利要求书

1、一种行星研磨机，包括传动机构、供液机构、研磨盘，以及带动研磨盘运动的内齿盘(107)和外齿盘(108)，所述研磨盘由设有若干个工装沉孔(1)、多个流液孔(8)的工装层(10)，以及设有轴向深度、径向均分研磨液嵌槽(4)的研磨层(11)构成；其特征是：所述工装层(10)和研磨层(11)分体，通过紧固件联接成整体，所述研磨层(11)由研磨液嵌槽层、实体层和凸筋网格层构成，实体层上设有与所述流液孔(8)相对应的通孔(7)，所述流液孔(8)经通孔(7)与研磨液嵌槽(4)相通，凸筋网格层的凸筋(2)上设有多个联接沉孔(9)。

2、如权利要求1所述的行星研磨机，其特征是：所述多个联接沉孔(9)呈对称性均布状。

3、如权利要求1所述的行星研磨机，其特征是：所述凸筋网格层的每根凸筋(2)的高度相一致，并处在一个平面上。

4、如权利要求1所述的行星研磨机，其特征是：所述实体层的厚度为4-8毫米。

5、如权利要求1或2所述的行星研磨机，其特征是：所述凸筋网格层中相邻直线状的凸筋(2)的夹角为90度。

6、如权利要求1或2所述的行星研磨机，其特征是：所述凸筋网格层中相邻直线状的凸筋(2)的夹角为60度或120度。