[发明专利]一种用于绝缘栅双极型晶体管模块的基板有效
申请号: | 200910097411.6 | 申请日: | 2009-04-02 |
公开(公告)号: | CN101587867A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 金晓行;刘志宏;姚礼军;胡少华;张宏波;雷鸣;余传武;沈华 | 申请(专利权)人: | 嘉兴斯达微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/13 | 分类号: | H01L23/13;H01L23/488;H01L25/07 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 沈志良 |
地址: | 314000浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 绝缘 栅双极型 晶体管 模块 | ||
技术领域
本发明属于半导体封装以及功率模块领域,具体地说是一种用于绝缘栅双极型晶体管模块的基板。
背景技术
绝缘栅双极型晶体管(IGBT)模块的结构如图1所示,它主要由基板1、直接敷铜基板(DBC)4、绝缘栅双极型晶体管(IGBT)芯片2、二极管芯片3和功率端子5等部分组成,其中基板1和直接敷铜基板4通过钎焊结合,绝缘栅双极型晶体管(IGBT)芯片2和直接敷铜基板4通过钎焊结合。通常绝缘栅双极型晶体管模块应用于大电流和高电压的情况。它在工作的时候,有很大的功耗。但是绝缘栅双极型晶体管模块中各芯片的结温一般不能超过150℃,所以模块工作的时候需要有很好的散热,以尽量来减小模块的热阻。
而热阻、散热和温度之间的关系可用下面的公式1所示。
公式1:
rtotal----总热阻
Tj----节点温度
Ta----环境温度
P----模块功耗
一般来说,芯片温度越低,它的寿命越长。
模块的总热阻有三部分组成,可用下面的公式2所示。
公式2:rtotal=rjcth+rcsth+rcath
rjcth----芯片到基板热阻
rcsth----基板到散热器热阻,又叫接触热阻
rsath----散热器到环境热阻
在模块的生产过程中,直接敷铜基板4(为多层结构,一般由两层铜和中间一层陶瓷材料组成)和铜质基板1一般通过高温回流焊接(温度一般超过200摄氏度)在一起的。但由于直接敷铜基板4的热膨胀系数(8e-6/k)和铜质基板1的热膨胀系数(16e-6/k)失配,造成高温回流焊接后,铜质基板1出现中间突出的情况,如图2以及图3所示。图2为现有普通基板钎焊前的状态,图3为普通基板钎焊后变形的状态。当出现图3所示变形的状态,则模块在安装的时候,安装面和散热器之间会出现较大的间隙。
间隙的增大,会增大接触热阻,进而导致芯片结温的升高,带来的后果是影响芯片寿命甚至直接失效。间隙与接触热阻之间的关系可用如下的公式3和公式4表示。
公式3:
公式4:rcsth=1/hcA
上述公式3和公式4中各符号含义如下:
hc----接触系数
Lg----接触间隙
kA----直接敷铜基板敷铜导热系数
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