[发明专利]一种含钛非晶碳高硬耐磨薄膜无效
| 申请号： | 200910100211.1 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101596799A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 涂江平;李瑞玲;洪春福;刘东光 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B33/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 含钛非晶碳高硬 耐磨 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种含钛非晶碳高硬耐磨薄膜，其特征是在金属基体上自下而上依次沉积有纯钛底层、碳钛复合梯度过渡层和含钛非晶碳层，含钛非晶碳层中弥散分布着粒径为5～20nm的TiC晶粒，其中碳的原子百分比是74.2at.％～98at.％，钛的原子百分比是2～23.8at.％。
2.根据权利要求1所述的含钛非晶碳高硬耐磨薄膜，其特征是薄膜中纯钛底层厚度为50～100nm，碳钛复合梯度过渡层厚度为100～300nm，含钛非晶碳层厚度为1.3～1.8μm。
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