[发明专利]一种功率器件的散热结构及其制造方法

权利要求书

1.一种功率器件的散热结构，其特征在于：所述功率器件散热结构包 括漏极金属层与金属覆盖层，所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背 面上，金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道，微型沟道设置有 冷却液的进口和出口，金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。

2.如权利要求1所述的功率器件的散热结构，其特征在于：所述微型 沟道通过蚀刻方法在金属覆盖层上形成。

3.一种如权利要求1所述的功率器件的散热结构的制造方法，其特征 在于：所述制造方法包括以下步骤：

(1)、将功率裸晶圆片置于第一载体上，功率裸晶圆片背面朝上；

(2)、对功率裸晶圆片背部进行研磨，并进行背面金属化处理，形成 漏极；

(3)、将与功率裸晶圆片纵、横向尺寸相同的金属圆片置于第二载体 上，在所述金属圆片上蚀刻出纵向与横向贯穿的微型沟道，最后蚀刻 出冷却液的进口和出口；

(4)、将金属化后的功率裸晶圆片翻转过来，并与完成微型沟道制作 的金属圆片进行键合焊接；

(5)、去除第一载体和第二载体，切割键合后的晶圆片，完成功率器 件的散热结构的安装。