[发明专利]晶硅方坯磨削加工专用磨床无效
申请号: | 200910100695.X | 申请日: | 2009-07-16 |
公开(公告)号: | CN101612716A | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 欧长劲;李兴旺 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B24B7/17 | 分类号: | B24B7/17;B24B9/06 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人: | 王 兵;黄美娟 |
地址: | 310014*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶硅方坯 磨削 加工 专用 磨床 | ||
1.晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:包括底座,所述的底座上设有:
导轨和安放晶硅方坯的工作台,所述的工作台可滑动地安装在所述的导轨上,所述的工作台与固定在底座上的工作电机连动;
对称地设置在导轨两侧、对晶硅方坯两侧面进行磨削的第一侧面磨削动力头和第二侧面磨削动力头;
对称地设置在导轨两侧、对晶硅方坯的四个棱角进行倒角的第一倒角机构和第二倒角机构,所述的倒角机构包括倒角支架,所述的倒角支架上下对称地装有对晶硅方坯倒角的上倒角磨削动力头和下倒角磨削动力头,所述的倒角磨削动力头的安装面与水平面成45°夹角;
所述的底座上设有将晶硅方坯从所述的工作台装卸的搬运机械手和位于导轨一侧、将卸下的晶硅方坯翻转90°的翻转台;所述的搬运机械手包括搬运支架,所述的搬运支架上设有搬运电机和与所述的搬运电机连动的叉形搬运爪;所述的工作台上设有允许所述的搬运爪插入、以便装卸晶硅方坯的凹槽;
所述的翻转台包括前后对称、可滑动地设置于所述的搬运爪两侧的前翻转机构和后翻转机构;所述的翻转机构包括正对所述的晶硅方坯侧面的夹持爪,所述的夹持爪与一可90°回转的摆动气缸连动;
所述的翻转机构还包括底座,所述的翻转机构的底座上设有滑动轨道和可前后滑动地安装在所述的滑动轨道上的翻转机构的滑台,所述的夹持爪可转动地设置在所述的翻转机构的滑台上,所述的摆动气缸固定在所述的翻转机构的滑台上;所述的翻转机构的底座上固定有与所述的翻转机构的滑台连接、推动翻转机构的滑台前后移动的气缸。
2.如权利要求1所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的导轨两侧对称地设有获取晶硅方坯的待加工的侧面和棱角的位置信息的第一对中机构和第二对中机构,所述的对中机构包括对中支架,所述的对中支架上设有对准晶硅方坯的定位档块。
3.如权利要求2所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的对中支架上设有滑轨,所述的滑轨上可滑动地安装有对中滑台,所述的定位档块通过一水平轴与所述的对中滑台连接,所述的对中滑台通过对中进给机构与带动所述的对中滑台移动的电机连动,所述的第一对中机构的第一定位档块与第一水平轴铰接。
4.如权利要求3所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的对中机构设置于所述的侧面磨削动力头和所述的倒角机构之间,所述的搬运机械手设置于所述的对中机构和所述的倒角机构之间。
5.如权利要求1-4之一所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的夹持爪包括夹持架和与所述的夹持架连接的上夹持片和下夹持片;所述的上夹持片上固定有上螺母,所述的下夹持片上固定有下螺母,所述的上螺母和所述的下螺母的螺纹旋向相反;所述的夹持架上固定有与所述的上、下螺母配合的螺杆,所述的螺杆的与所述的上螺母配合的上半部的螺纹旋向与所述的上螺母的螺纹旋向相同,所述的螺杆的下半部的螺纹旋向与所述的下螺母的螺纹旋向相同;
所述的夹持架上固定有滑动导杆,所述的夹持片可滑动地穿设于所述的滑动导杆上。
6.如权利要求5所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的底座上设有机械手支架,所述的搬运支架架设在所述的机械手支架的两侧的轨道上,所述的搬运支架通过丝杆机构与固定在所述的机械手支架上的电机连动;
所述的搬运机械手的传动机构为螺母螺杆机构,所述的搬运支架上设有搬运滑轨,所述的搬运滑轨上穿设有搬运滑台,所述的搬运爪固定在所述的搬运滑台上。
7.如权利要求6所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的底座上设有磨削滑轨,所述的侧面磨削动力头通过磨削滑台可移动地安装在所述的磨削滑轨上,所述的磨削滑台通过磨削进给机构与固定在底座上、带动磨削滑台移动的进给电机连动;
所述的倒角磨削动力头的安装面为滑轨滑台组合,所述的安装面滑轨固定在所述的倒角支架上,所述的安装面滑台与所述的倒角磨削动力头连接,所述的安装面滑台通过倒角进给机构与倒角进给电机连动。
8.如权利要求7所述的晶硅方坯磨削加工专用磨床,其特征在于:所述的工作台上设有夹紧所述的晶硅方坯的夹紧机构,所述的夹紧机构包括固定在所述的工作台上的装夹工作台,所述的装夹工作台上将晶硅方坯夹紧的压紧块,所述的压紧块与一夹紧气缸连动;所述的允许搬运爪插入的凹槽设于所述的装夹工作台上。
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