[发明专利]一种适用于图像传感器像素阵列的光学邻近校正方法

权利要求书

1.一种适用于图像传感器像素阵列的光学邻近校正方法，其特征是包括参数初始化，版图层次化处理，对称图形对称切分，对称图形对称化校正，具体步骤如下：

1)参数初始化： 

设定光学邻近效应校正的仿真模型，

光刻掩模图形，GDSII输入，

光刻掩膜图形的特征尺寸D，

光刻机的基本参数，λ，NA，σ；其中：λ是光源的波长，NA是光学系统的数值孔径，σ是照明的相干系数；

2)通过光学仿真模型参数和版图图形特点确定图形相互影响距离；

3)版图层次化处理：

将版图打平至只含最小单元，将最小版图单元的所有实例的图形环境进行比较归类，环境相同的实例归为同一个版图单元，环境不同的实例归为新的版图单元；

4)对上述3)中得到的所有版图单元做光学邻近校正：

a)将单元所含图形，向外扩展一段距离，该距离大小为图形相互影响距离，提取范围内所有图形得到等待光学邻近校正的图形集合；

b)对a)中得到的图形集合的边进行切分，对称图形各部分相应的边按照相同的规则切分，保证对称图形的切分结果仍然对称；

c)对b)中得到的切分后的多边形进行OPC迭代运算，对其中的对称图形采用对称性同步迭代运算：

将对称图形分为完全相同的N个部分，N为可以得到的完全相同部分的最大数量，标记序号为1，2，3，……N，不对称图形视为N＝1的对称图形；

I)对序号为1的部分的某段线段计算光强，得到该线段偏移量，将该偏移量映射到其余N-1个部分的对应线段处，得到全部N段该对称位置线段的偏移量；

II)对其余线段同样采用I)中的方法得到其偏移量；

d)光学邻近效应校正的校正终止条件：

在每次光学邻近效应校正迭代后按式(1)计算校正结果的精确度， 

式中Cost是代价函数，EPE为线段位置误差函数，x为每一段上的光强评估点位置，D表示设计目标的图形轮廓，W表示实际仿真的图形轮廓，求和对输入掩模图形上的所有光强评估点进行，如果校正精度不满足预定义的要求值Cost₀，则按步骤c)继续迭代，直到满足精度要求终止迭代，或达到预定的迭代次数终止迭代；

e)移除光学邻近校正结果中的环境图形，即a)中向外扩展部分的图形；

f)将e)中得到的该单元的光学邻近校正结果映射回对应的实例中，得到整个版图的光学邻近校正结果。

2.根据权利要求1所述的适用于图像传感器像素阵列的光学邻近校正方法，其特征是所说的图形相互影响距离为光学仿真模型的半径；或为5倍的光学仿真模型的半径。