[发明专利]一种振镜校正系统及其校正方法

权利要求书

1、一种振镜校正系统，其特征在于，所述振镜校正系统包括：

振镜校正板，由振镜扫描模块控制激光在所述振镜校正板上形成矩阵标靶；

CCD图像采集装置，用于对所述振镜校正板上的矩阵标靶进行图像采集；以及

图像处理模块，用于对所述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行处理后输出振镜补偿文件对振镜进行校正。

2、如权利要求1所述的振镜校正系统，其特征在于，所述振镜校正系统还包括：

真空辅助吸附平台，用于固定所述振镜校正板。

3、如权利要求1所述的振镜校正系统，其特征在于，所述CCD图像采集装置进一步包括：

CCD、镜头以及光源；

所述镜头的一端与所述CCD固定连接，所述镜头的另一端穿过所述光源悬空；

所述光源用于给所述镜头成像提供光照。

4、如权利要求3所述的振镜校正系统，其特征在于，所述振镜校正系统还包括：

连接模块，用于将所述CCD图像采集装置与所述振镜扫描模块固定连接；

所述连接模块进一步包括：CCD固定板以及光源固定板；

所述CCD固定板用于将所述CCD与所述振镜扫描模块固定连接，所述光源固定板用于将所述光源与所述振镜扫描模块固定连接。

5、如权利要求3所述的振镜校正系统，其特征在于，所述光源为环形光源。

6、如权利要求1所述的振镜校正系统，其特征在于，所述图像处理模块进一步包括：

定位模块，对所述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行定位；

偏差计算模块，根据所述定位模块的定位结果计算出矩阵标靶的理论与实际位置的偏差；以及

补偿模块，根据所述偏差输出振镜补偿文件对振镜进行校正。

7、一种采用权利要求1所述的振镜校正系统进行振镜校正的方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：

振镜扫描模块控制激光在振镜校正板上形成矩阵标靶；

CCD图像采集装置对所述振镜校正板上的矩阵标靶进行图像采集；

图像处理模块对所述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行处理后输出振镜补偿文件对振镜进行校正。

8、如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述CCD图像采集装置通过镜头成像的方式对所述振镜校正板上的矩阵标靶进行图像采集。

9、如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述图像处理模块对所述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行处理后输出振镜补偿文件对振镜进行校正的步骤进一步包括：

对所述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行定位；

根据所述定位模块的定位结果计算出理论与实际位置的偏差；

根据所述偏差输出振镜补偿文件对振镜进行校正。

10、如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述振镜校正精度与所述矩阵标靶的数量成正比。