[发明专利]复合真空泵

权利要求书

1.一种复合真空泵，包括泵壳、开设于所述泵壳上的进气口及排气口，所述泵壳内设有多级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵，其特征在于：所述牵引分子泵采用并联或者串联组合，置于靠近所述进气口处；所述罗茨泵采用串联组合，置于靠近所述排气口处；所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。

2.根据权利要求1所述的复合真空泵，其特征在于：所述牵引分子泵为具有两个牵引面的Siegbahn分子泵，所述Siegbahn分子泵包括泵壳、静轮、动密封、隔环、动轮、转子和轴。

3.根据权利要求2所述的复合真空泵，其特征在于：所述Siegbahn分子泵用于立式复合真空泵；所述静轮的螺旋状叶片的截面为十字形，每两个相邻的所述叶片之间的空间形成抽气槽，所述抽气槽的槽底中部设有开口；所述槽底靠近所述静轮内侧部位的开口率较大，靠近所述静轮外侧的开口率较小；所述静轮采用单只或者多只并联组合；所述静轮或静轮组的一侧设有动密封；所述静轮或静轮组无动密封侧、靠近外周处设有轴向进气口；所述分子泵的动轮内侧，除最靠所述轴向进气口的一只外，均设有排气口。

4.根据权利要求2所述的复合真空泵，其特征在于：所述分子泵用于卧式复合真空泵；所述静轮的螺旋状叶片的截面为十字形，每两个相邻的所述叶片之间的空间形成抽气槽，所述抽气槽的槽底中部设有开口；所述槽底靠近所述静轮内侧部位的开口率较大，靠近所述静轮外侧的开口率较小；所述静轮采用单只或者多只并联安装；所述静轮或静轮组的两侧分别设有动密封；所述静轮或静轮组的外周处设有径向进气口；所述泵壳与径向进气口对应部位设气体通道；所述动轮内侧均设排气口。

5.根据权利要求1所述的复合真空泵，其特征在于：所述牵引分子泵为具有两个或者两个以上牵引面的Gaede分子泵，所述Gaede分子泵包括泵壳、静轮、动密封、隔环、动轮、转子和轴。

6.根据权利要求5所述的复合真空泵，其特征在于：所述分子泵的静轮由槽顶、动密封、抽气槽和槽底组成整体结构；所述动密封的两侧分别设有进气口和排气口，所述进气口和排气口分别位于所述槽底和槽顶上；所述槽底的截面为T形，兼作所述动密封的加强环；所述抽气槽在靠近进气口和排气口部位采用倾斜槽型。

7.根据权利要求5所述的复合真空泵，其特征在于：所述分子泵的静轮由若干动密封、槽顶组成整体结构；所述动密封两侧分别设有进气口和排气口；所述进气口和排气口均位于所述槽顶上；所述静轮安装在两只动轮之间，所述槽顶与两只动轮之间的空间构成抽气槽；所述抽气槽在靠近进气口和排气口的部位采用倾斜槽型；所述动密封内侧设有加强环。

8.根据权利要求1所述的复合真空泵，其特征在于：所述罗茨泵包括泵壳、转子和转轴，所述泵壳上开设有进气口和排气口，所述转子与所述泵壳之间的间隙形成缓冲空间。

9.根据权利要求8所述的复合真空泵，其特征在于：所述转子的顶部采用与所述转轴同心的圆弧面，所述圆弧面的最佳弧长为5°至10°；所述转子底部的圆弧面与另一个转子顶部的圆弧面相匹配。

10.根据权利要求8所述的复合真空泵，其特征在于：所述罗茨泵的转子采用三叶结构，并减小所述进气口和排气口的宽度，所述泵壳内壁与转子之间的配合圆弧面相对于转轴的圆心张角大于120°。

11.根据权利要求2所述的复合真空泵，其特征在于：最靠近所述真空泵进气口处为并联的所述Siegbahn分子泵，随后为串联的所述Siegbahn分子泵。

12.根据权利要求5所述的复合真空泵，其特征在于：最靠近所述排气口处为串联的所述Gaede分子泵。

13.根据权利要求1所述的复合真空泵，其特征在于：最靠近进气口处增设若干级串联的涡轮分子泵。