[发明专利]一种平板显示材料的多功能镀膜生产线无效
| 申请号： | 200910107126.8 | 申请日： | 2009-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101871095A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 许生;谭晓华;庄炳河 | 申请（专利权）人： | 深圳市豪威薄膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518067 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平板 显示 材料 多功能 镀膜 生产线 | ||
【权利要求书】：
1.一种平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于包括：
上下片端，其包括平移架和旋转架；
连接上述上下片端的真空室，此真空室内包括两组相互独立的空间，每组独立空间内设置一单面镀膜生产线；
连接上述真空室的组合式传动装置，此组合式传动装置包括平移架和旋转架。
2.根据权利要求1所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述上片端的平移架设置在百级净化间内，下片端的平移架设置在千级净化间内。
3.根据权利要求2所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述上下片端包括两组平移架和外回架装置。
4.根据权利要求1所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述真空室的每组独立空间内包括两组溅射镀膜区。
5.根据权利要求1所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述组合式传动装置的上片平移架设置在百级净化间内。
6.根据权利要求1所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述组合式传动装置内回架的旋转架和平移架设置在十级净化间内。
7.根据权利要求1所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述真空室包括高真空室、低真空室、溅射镀膜室和过渡室。
8.根据权利要求4所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于：所述两组溅射镀膜区之间包括一过渡室。
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