[发明专利]一种锗掺杂的AZO靶材及其制备方法

权利要求书

1、一种锗掺杂的AZO靶材，其特征在于，该靶材中含有重量百分比为1-10％的氧化铝、0.1-5％的氧化锗，以及余量的氧化锌。

2、权利要求1所述的锗掺杂的AZO靶材的制备方法，其特征在于，包含以下步骤：

S1按事先确定好的比例分别称取原料氧化锌、氧化铝、氧化锗粉末，加入粘结剂，加水混合均匀；

S2混合物干燥后，将粉末进行压制成型，形成预先确定的形状与强度的坯体；

S3将坯体在常压、常气氛下在进行烧结，烧结温度为1200-1600℃。

3、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述原料氧化锌、氧化铝、氧化锗之间的重量百分比例为氧化铝1-10％、氧化锗0.1-5％、余量为氧化锌。

4、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述粘结剂是选自聚乙烯醇、聚乙二醇或聚乙烯醇缩丁醛。

5、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述粘结剂的添加量为原料重量的0.5-2％。

6、根据权利要求2-4任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述氧化锌、氧化铝、氧化锗粉末为纳米级粉末，粒度为20-200纳米。

7、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中的干燥是采用喷雾干燥法干燥。

8、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中对混合物的压制包括钢模压制和湿式等静压压制，首先将粉末进行钢模压制成形，形成预先确定的形状与强度的坯体，接着进行湿式等静压制，湿式等静压的工艺参数为100-160MPa。

9、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，还包括在步骤S3的烧结前，根据压制后胚体尺寸及烧结后的尺寸要求，对压制胚体进行机械加工。

10、根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，还包括在步骤S3的烧结后，对烧结体进行机械加工，使之成为适于使用的靶材成品。