[发明专利]用于电润湿显示装置的薄膜晶体管及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及电润湿显示装置领域，具体地说，是指一种用于电润湿显示 装置的薄膜晶体管及制造方法。

背景技术

目前，平板显示行业发展很快，主流的显示装置有液晶显示装置(LCD) 等，近年，一种电润湿的显示装置因其无视角问题，响应速度快，功耗低， 产品薄等也受到很大的关注。

但是，不管是液晶显示装置，还是电润湿显示装置，其都涉及到薄膜晶 体管。液晶显示装置的工作原理主要是靠装置中的液晶受到上下两块电极的 作用发生扭转，然后通过黏附在上下两块电极上的偏光片而起到显示不同的 图形的效果；而电润湿显示装置的工作原理主要是：依靠装置内的油状物质， 根据其受到的电压不同，表现为伸缩的不同而起到显示不同的图形的效果。 由于液晶显示和电润湿显示原理上的区别，若将现阶段用于液晶显示装置的 薄膜晶体管用于电润湿显示装置，则会表现出如下缺陷：一、开口率较低， 整体显示不好；二、结构上各区域的段差较大，电润湿显示装置内的油状物 质流动性不好，从而反应速度慢。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种薄膜晶体管，其可克服现有的液晶显示 装置的薄膜晶体管开口率低等缺陷，能够满足主动式电润湿显示装置的要求。

本发明的另一目的在于提供一种能满足主动式电润湿显示装置的薄膜晶 体管的制造方法。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

一种用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，包括：基板、底部导电膜层、 第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层、第二绝缘层及第四导电 膜层；底部导电膜层设在基板上，其作为栅极、栅极布线及公共电极的导电 膜层；第一绝缘膜层，其覆盖在底部导电膜层的上方；上述的半导体非晶硅 膜层覆盖在第一绝缘膜层上；上述的第二导电膜层作为源极和漏极的导电膜 层，上述的第二导电膜层部分覆盖在上述的半导体非晶硅膜层上；上述的第 二层绝缘膜层覆盖在上述的第一绝缘膜层、上述的半导体非晶硅膜层、上述 的第二导电膜层的上方；上述的第四导电膜层作为像素电极和保持电极的导 电膜层；其中：还进一步包括有机流平膜层，上述的有机流平膜层覆盖在第 二绝缘层上。

上述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其还进一步包括有保护膜层， 上述的保护膜层全面覆盖在显示区域内的像素电极、保持电极和第四导电膜 层的上方。

上述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，上述的第一绝缘膜层和上述 的第二绝缘膜层上设有第一导通孔，该第一导通孔位于上述栅极布线、上述 公共电极及上述的漏极的上方。该第一导通孔，是这样形成的：即去除部分 上述栅极布线和上述公共电极上方的上述第一绝缘膜层和上述第二绝缘膜 层、上述漏极上方的第二绝缘膜层。

上述的用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，其还进一步包括有第三导电 膜层，上述的第三导电膜层覆盖在上述第一导通孔下方的上述底部导电膜层 或上述第二导电膜层上方。

上述的有机流平膜层覆盖在上述第二绝缘膜层上方，使基板表面平整， 该有机流平膜层上设有第二导通孔，该第二导通孔位于上述的第一导通孔上 方。该第二导通孔是这样形成的：去除上述第一导通孔上方的上述第三导电 膜层上方的上述有机流平膜层，从而形成第二导通孔。

上述第四导电膜层覆盖在上述有机流平膜层和上述第三导电膜层的上 方，使上述第四导电膜层通过上述第二导通孔、上述第三导电膜层、上述第 一导通孔与上述公共电极和上述漏极导通。

优选地，上述底部导电膜层为金属膜层或金属合金膜层。

优选地，上述第二导电膜层为金属膜层或金属合金膜层。

优选地，上述第三导电膜层为透明氧化铟锡导电膜层。

优选地，上述有机流平膜层材料为透明有机光刻材料。

优选地，上述第四导电膜层为金属膜层或金属合金膜层时，上述薄膜晶 体管基板用于做反射式电润湿显示装置；上述第四导电膜层为透明氧化铟锡 导电膜层时，上述薄膜晶体管基板用于透射式电润湿显示装置。

上述第四导电膜层通过上述第二导通孔、上述第三导电膜层、上述第一 导通孔与上述公共电极导通形成保持电极；上述第四导电膜层通过上述第二 导通孔、上述第三导电膜层、第一导通孔与上述漏极导通，形成像素电极； 作为保持电极和像素电极的上述第四导电膜层分别间隔设置。

上述保护膜层材料为一层二氧化硅材料。