[发明专利]一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪及其应用

权利要求书

1、一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于设有真空腔体、激光光源、激光聚焦透镜、采样锥、离子传输装置、截取锥和飞行时间质量分析器；激光光源和激光聚焦透镜设于真空腔体外部，采样锥、离子传输装置、截取锥和飞行时间质量分析器依次设于真空腔体中。

2、如权利要求1所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于真空腔体设有三级真空室，一级真空室设于采样锥之前，二级真空室设于采样锥与截取锥之间，三级真空室设于截取锥之后，一级真空室内充有氦气、氩气等惰性气体，其真空度为0.01～100torr，二级真空室的真空度为10^-1～10^-4torr，三级真空室的真空度小于5×10^-5torr。

3、如权利要求1所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于激光光源的波长为157～1100nm，脉宽为10fs～10ns，脉冲能量为1μJ～500mJ，脉冲频率为1Hz～10kHz，激光经激光聚焦装置聚焦后的功率密度为1×10⁷—9×10¹¹W/cm²。

4、如权利要求1所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于采样锥为设有中心孔的金属片、金属锥或金属管，中心孔直径为0.2～3mm。

5、如权利要求4所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于所述中心孔为圆形孔或矩形孔。

6、如权利要求1或4所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于所述采样锥接地、浮电位或电压可调。

7、如权利要求1所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于离子传输装置为离子透镜，或射频多极杆或离子透镜和射频多极杆的组合。

8、如权利要求1所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪，其特征在于截取锥为设有中心孔的金属片，中心孔直径0.1～4mm，中心孔为圆形孔或矩形孔；截取锥接地、浮电位或电压可调。

9、如权利要求1所述的一种高功率密度激光溅射电离飞行时间质谱仪用于固体直接定性分析、有标样定量分析以及无标样半定量分析。