[发明专利]导线图案以及监控膜材贴附偏差的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种接垫区的导线图案与一种监控膜材贴附偏差的方法，尤指一种可用来当作监控膜材贴附偏差的参考基准的接垫区导线图案及其监控贴附偏差的方法。

背景技术

一般液晶显示面板(liquid crystal display，LCD)的制程，是先分别制作一数组基板与一彩色滤光片基板，其中该数组基板的制作方式是包括数道薄膜沉积、微影及蚀刻等半导体制程，以制作出薄膜晶体管数组，而彩色滤光片基板则是在基板上制作出对应于薄膜晶体管而呈数组排列的彩色滤光片。当数组基板与彩色滤光片基板分别制作完成后，再进行相互贴合及切割裂片。

请参考图1，图1为一习知LCD面板10的示意图，其包含一彩色滤光片基板12以及一数组基板14，其中彩色滤光片基板12较小于数组基板14，因此彩色滤光片基板12会暴露出部分的数组基板14，数组基板14没有被彩色滤光片基板12覆盖的部分通常称为非显示区16。非显示区16内设置有复数个端子部(terminal)，用来将LCD面板10内部如扫瞄线或讯号线的导线电连接于外部的控制电路。请参考图2，图2为习知LCD面板10的一端子部20的部分示意图。一般而言，端子部20包含一开口部22与一引线部24，其中开口部22的主要功能为传递外部控制讯号给LCD面板10的内部导线。因此，在完成LCD面板10的制作后，通常会将如印刷电路板(printing wire board，PWB)的膜材贴附在非显示区16上，利用膜材上的导线图案电连接于开口部22以传递外部讯号。如图3所示，当膜材(图未示)被贴附于非显示区16时，膜材表面的传导图案26应对准覆盖于端子部20的中央部分，使得传导图案26距离开口部22两侧的距离d1、d2皆相等。

然而，在贴附膜材的过程中，难免会因为机台对位等因素而造成贴附位置上的偏差，如图4所示，由于发生了膜材贴附偏差，因此膜材上的传导图案26向右偏移，使得传导图案26与开口部22的左侧距离d1较大于传导图案26与开口部22的右侧距离d2。由上可知，由于现行贴附膜材的技术无法有效避免贴附偏差的问题，所以在生产线上必须针对膜材的贴附偏差进行监控量测。现行检测膜材贴附偏差的方法主要有三种，其一是使用包含电荷耦合装置(charge coupled device，CCD)传感器的量测仪器来进行量测，检测员必须利用CCD传感器来搜寻非显示区16内是否发生膜材贴附偏差的问题，然后再透过CCD传感器本身的刻度尺计算膜材的偏移量。然而此种量测方式的缺点包括必须将LCD面板10特别传送到具有量测仪器的机台上才能进行量测，且检测员必须使用CCD传感器来搜寻量测标的的位置，有可能搜寻不到且耗费时间。再者，量测仪器也必须具有一定的规格要求，例如需内建量测程序与具有量测刻度。此外，此种量测方式亦可能会有精确度的疑虑。

第二种习知量测膜材贴附偏差的方法是检测员直接以量测工具量测端子部20与贴附膜材后传导图案26的贴附偏差值，经由量测传导图案26与开口部22的左侧距离d1与右侧距离d2可得知是否发生膜材贴附偏差、向右或向左偏差了多少距离。然而，此种量测方式的缺点包括量测程序麻烦费时且精确度不足。

另一方面，第三种习知量测膜材贴附偏差的方法是利用偏移量测标记来量测膜材发生多少距离的偏差。首先在数组基板14以曝光成像的方式形成偏移量测标记30，如图5所示，偏移量测标记30包含三个次标记30a、30b、30c，分别为一顶角朝上的三角图案，并在膜材上形成具有反三角图案的偏移量测标记32。当膜材被贴附在端子部20上而没有发生偏差时(如图5左侧端子部20和传导图案26的相对关系)，则膜材上的偏移量测标记32下方的顶角会刚好对正于偏移量测标记30的中心，亦即对准于中间的次标记30b的顶角。请参考图6，图6则显示出当膜材发生贴附偏差时的情形，如图6左侧所示，所贴附的膜材向右偏移了一些距离，此时膜材上的偏移量测标记32刚好对应到次标记30c的顶脚，因此可知道膜材向右偏移了3微米(micrometer，um)。然而，利用此种方式量测膜材偏移量的方法仍有其缺点：由于受限于曝光机台的成像能力，因此无法形成小于3微米的图案，而且三角图案的尖角部分也无法完全的成像，可能会接近圆角图案，影响到量测偏移量的精确性。

因此，如何以简单又有效率的方法判断是否发生膜材贴附偏差与量测膜材的贴附偏差值，仍为LCD面板业界的一重要课题。

发明内容