[发明专利]一种芯片式铷滤光泡有效
| 申请号： | 200910111374.X | 申请日： | 2009-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101510779A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 郭航;王盛贵;林立伟 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H03L7/26 | 分类号： | H03L7/26;G04F5/14;H01J61/74;H01S3/098 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 滤光 | ||
1.一种芯片式铷滤光泡，其特征在于设有一硅片，在硅片中央设有一个通孔，在通孔的一边上设有沟道，通孔经沟道与外部连通，在硅片两侧面分别设有玻璃片，硅片与两侧面的玻璃片键合成一块芯片，硅片中央的通孔与硅片两侧面的玻璃片构成的腔体内充入铷-85和惰性气体；充入的铷-85的量为0.1～10mg；充入的惰性气体的气压为10～200Tor。
2.如权利要求1所述的一种芯片式铷滤光泡，其特征在于所述硅片两侧面的玻璃片的外形和尺寸均与硅片相同。
3.如权利要求1所述的一种芯片式铷滤光泡，其特征在于所述硅片为方形硅片或圆形硅片，所述硅片的厚度为0.1～2mm，所述方形硅片的边长为3～30mm，所述圆形硅片的直径为3～30mm。
4.如权利要求1所述的一种芯片式铷滤光泡，其特征在于所述玻璃片为方形玻璃片或圆形玻璃片，方形玻璃片的边长为3～30mm，圆形玻璃片的直径为3～30mm。
5.如权利要求1所述的一种芯片式铷滤光泡，其特征在于所述通孔为方形通孔或圆形通孔，方形通孔的边长为2～15mm，圆形通孔的直径为2～15mm。
6.如权利要求1或2所述的一种芯片式铷滤光泡，其特征在于所述玻璃片的厚度与硅片厚度相同。
7.如权利要求1所述的一种芯片式铷滤光泡，其特征在于所述沟道的横截面为三角形、方形、梯形或圆形，三角形、方形、梯形的每边边长为0.1～2mm，圆形的直径为0.1～2mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910111374.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
