[发明专利]一种液相外延法制取薄膜的装置

权利要求书

1.一种液相外延法制取薄膜的装置，包括：

一副室，副室上装有一升降旋转轴；

一阀室，阀室内装有一升降旋转轴；

一炉室，位于阀室的下方；

一坩埚，位于炉室内；

一用来加热所述坩埚内原料的加热装置；

还包括一上端与升降旋转轴下端连接的石墨花篮，所述的石墨花篮位于炉体内，可在 阀室内及炉室内上下运动，所述的石墨花篮包括：一位于上端的连接轴，可拆卸地或固定 地与升降旋转轴连接；一上夹板；一下夹板；以及一位于上下夹板之间的连接轴；所述的 上夹板下表面及下夹板的上表面各有一组上下相对应的凹槽，用于固定衬底片，其特征在 于：所述的上夹板或下夹板中，至少有一夹板靠近轴心处沿圆周分布有2～10个孔，所述 的硅片夹板中的凹槽与夹板的径向之间有一夹角，所述的夹角为0°-75°。

2.如权利要求1所述的一种液相外延法制取薄膜的装置，其特征在于：所述的硅片夹板 中的凹槽与夹板的径向之间的夹角为20°-50°。

3.如权利要求1所述的一种液相外延法制取薄膜的装置，其特征在于：所述的上夹板上 表面中心厚，周边薄，由轴心沿径向向周边倾斜。

4.如权利要求3所述的一种液相外延法制取薄膜的装置，其特征在于：所述的上夹板上 表面由轴心向周边倾斜的角度为1～30°。

5.如权利要求1所述的一种液相外延法制取薄膜的装置，其特征在于：所述的上夹板的 上表面还具有2～6个沿圆周分布的径向棱。

6.如权利要求1所述的一种液相外延法制取薄膜的装置，其特征在于：所述的凹槽每组 具有10-200个。

7.如权利要求1所述的一种液相外延法制取薄膜的装置，其特征在于：所述的凹槽深1 -5mm，宽0.5-3mm。