[发明专利]一种单晶炉热场的排气方法和装置无效
| 申请号： | 200910111785.9 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101709506A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 南毅;张伟娜;郑智雄;林霞;胡满根 | 申请（专利权）人： | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场 排气 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉热场的排气方法，其特征在于：将导流筒进入的气流和坩埚内产生的含杂质的气流，流向位于炉室上部的上保温罩的上排气口，再通过炉壁与主保温罩之间的通道流向炉壁底部的抽气管道，最后经抽气管道排出。
2.一种单晶炉热场的排气装置，包括炉壁、石墨坩埚、石英坩埚、加热器、保温罩、导流筒，其特征在于：保温罩包括上保温罩、主保温罩及下保温罩，上保温罩上开设有上排气口，所述的炉壁和保温罩之间留有间隙。
3.如权利要求2所述的一种单晶炉热场的排气装置，其特征在于：所述的炉壁和保温罩之间的间隙为30mm～50mm。
4.如权利要求2所述的一种单晶炉热场的排气装置，其特征在于：所述的上排气孔为6-16个。
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