[发明专利]一种减少多晶硅铸锭应力的方法无效
申请号: | 200910112123.3 | 申请日: | 2009-06-25 |
公开(公告)号: | CN101660208A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 郑智雄;张伟娜;赵志跃;程香;汪健;南毅;林禹 | 申请(专利权)人: | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
主分类号: | C30B33/00 | 分类号: | C30B33/00;C30B29/06 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人: | 张松亭 |
地址: | 362000福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 减少 多晶 铸锭 应力 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种减少多晶硅铸锭应力的方法,将刚出炉的多晶硅锭放置于超声波清洗设备中,同时放入100℃的水,开加热器,使水保持沸腾状态,开启超声波清洗机,使其保持高频振荡状态,频率为20KHZ-200KHZ,振荡至少1h,然后控制水温,使水以5~20℃/h的速度逐渐冷却至室温,最后将硅锭取出,去除边皮,破成小方锭,空气中保存。
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