[发明专利]一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法

权利要求书

1.一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：该方法采用在真空状态下或往退火炉内充入一定量的惰性气体、氢气或他们的混合气体对IZO透明导电膜进行退火处理。

2.权利要求1所述的提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：该法涉及的退火气氛压强为10^-4～10⁵Pa，退火温度为80～600℃，根据不同加热方式和退火温度，退火时间为3秒～24小时。

3.权利要求1所述的提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：退火方式可采用电阻加热、微波加热、激光加热、电火花或电弧加热、中高频加热、等离子加热等加热方式，以达到预期的退火温度。

4.权利要求1所述的提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：所制备的IZO透明导电膜是采用磁控溅射方法在碱玻璃、石英玻璃、蓝宝石、氮化铝、氮化镓、碳化硅、氧化锌、硒化锌等透明衬底上制备，薄膜厚度为2～2000nm。

5.权利要求1所述的提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：所针对的IZO透明导电膜可以是采用氧化锌靶与氧化铟靶或金属铟靶共溅射制备，也可以是采用铟掺杂氧化锌复合靶单靶溅射制备，还可以采用锌靶和铟靶反应溅射制备或者采用锌、铟合金靶反应溅射制备。

6.权利要求1所述的提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：所针对的IZO透明导电膜中铟原子与铟原子和锌原子之和的原子比[In/(In+Zn)]≤50％。

7.权利要求1所述的提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法，其特征在于：利用该种方法退火处理后的具有优异光电性能的IZO导电膜，可应用于太阳能电池、发光二极管、液晶显示LCD、触摸屏、晶体管、平板显示等。