[发明专利]电磁驱动静电预紧硅微机械陀螺无效
| 申请号： | 200910114952.5 | 申请日： | 2009-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101493327A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈志龙 | 申请（专利权）人： | 陈志龙 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B7/02;B81C5/00 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 | 代理人： | 张 文 |
| 地址： | 330013江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁 驱动 静电 预紧硅 微机 陀螺 | ||
1.一种电磁驱动静电预紧硅微机械陀螺，包括由硅片构成的硅框架(1)，其特征在于：在硅框架(1)上通过体微机械工艺制作出驱动质量块(2)、驱动梁(3)、敏感质量块(4)、上振弦(7)、下振弦(6)和水平检测梁(5)，并通过电镀工艺制作相应的上电容极板对的上极板(13)及下极板(14)、下电容极板对的上极板(15)及下极板(16)、驱动导线(8)、第一上电极导线(9)、第二上电极导线(10)、第一下电极导线(11)、第二下电极导线(12)、上检测导线(17)、下检测导线(19)和焊盘(18)，其中在硅框架(1)内通过体微机械工艺制作驱动质量块(2)，在驱动质量块(2)内的中间制作有敏感质量块(4)，敏感质量块(4)通过两端的水平梁(5)支撑在驱动质量块(2)上，在敏感质量块(4)的上方和下方通过电镀工艺分别制作有上电容极板对的上极板(13)、下极板(14)和下电容极板对的上极板(15)、下极板(16)，带焊盘(18)的第一上电极导线(9)与上电容极板对的下极板(14)相连，带焊盘(18)的第二上电极导线(10)与上电容极板对的上极板(13)相连，带焊盘(18)的第一下电极导线(11)与下电容极板对的上极板(15)相连，带焊盘(18)的第二下电极导线(12)与下电容极板对的下极板(16)相连，上振弦(7)、下振弦(6)与敏感质量块(4)相连接，在上振弦(7)的上端连接有上检测导线(17)，在下振弦(6)的下端连接有下检测导线(19)；在硅框架(1)内制作用于驱动驱动质量块(2)振动的驱动梁(3)，在驱动梁(3)上制作驱动导线(8)。
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