[发明专利]电沉积层内应力的检量方法

权利要求书

1、一种电沉积层内应力的检量方法，其特征在于：

a，取透明电镀槽，内装电镀液，把阳极试片浸入电镀槽内；

b，取阴极试片，阴极试片试验前先在600-800℃下退火30-50分钟，以消除其残余应力，自然冷却后清洗、干燥，静压碾平，将单面绝缘，再测量阴极试片的弹性模量值E和阴极试片的厚度值t，用导电夹子将阴极试片顶端夹紧，阴极试片底端浸入电镀液中，并保证阴极试片与电镀液液面垂直，并测量出浸入电镀液中的阴极试片长度L，阴极试片的绝缘面背对阳极试片；

c，将上述阳极试片和阴极试片接通电源，在透明电镀槽体外设有摄像头，摄像头拍摄阴极试片在电镀过程中弯曲全过程，并保存数据，通过计算机计算出阴极试片底端的位移量Z′；

d，测量电镀后的阴极试片厚度，减去电镀前的阴极试片厚度，计算出电沉积层厚度值d；

e，根据公式计算出电沉积层内应力S大小，S=16×Et2Z′dL2,]]>其中：S为电沉积层内应力(Pa)，t为阴极试片厚度(mm)，E为阴极试片的弹性模量(Pa)，d为电沉积层厚度(mm)，L为阴极试片浸入电镀液中的长度(mm)，Z′为阴极试片底端的位移量(mm)。

2、根据权利要求1所述电沉积层内应力的检量方法，其特征在于：f，所述阳极试片和阴极试片之间的距离100-200毫米。

3、根据权利要求1所述电沉积层内应力的检量方法，其特征在于：g，所述电镀槽壁设有表示槽内电镀液深度的水平刻度线，电镀槽壁还设有带刻度定位线，带刻度定位线与水平刻度线垂直，阴极试片浸入电镀液后在电渡前其侧面与定位线重合。