[发明专利]梳齿电容式双轴加速度计

权利要求书

1.梳齿电容式双轴加速度计，其特征在于：包括有基片，基片上有形状为中心对称的敏感质量块，所述敏感质量块的四个周边上分别安装有可拆卸的固定梳齿，所述固定梳齿与敏感质量块的对应周边平行，彼此沿中心对称，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有多组可动梳齿，所述每个可动梳齿与对应的敏感质量块周边平行，并且沿着垂直于敏感质量块边线的方向连接在敏感质量块上；所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上；所述每个支撑架包括两个正交放置的蛇形支撑梁，所述两个蛇形支撑梁的一端分别连接至敏感质量块，另一端连接至基片上，所述基片上有通过MEMS键合工艺制作的锚点，所述蛇形支撑梁的另一端连接至基片的锚点上。

2.根据权利要求1所述的梳齿电容式双轴加速度计，其特征在于：所述可动梳齿到其相邻的两边的固定梳齿的距离比为1∶10。

3.根据权利要求1所述的梳齿电容式双轴加速度计，其特征在于：所述基片的材料为硼硅玻璃，所述敏感质量块、可动梳齿、固定梳齿、支撑梁的材料均为重掺杂的导体硅圆片，该梳齿电容式双轴加速度计通过MEMS工艺制作而成。