[发明专利]双压电体并排推动的三摩擦力步进器与扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种双压电体并排推动的三摩擦力步进器，包括两个压电体、基座、滑杆，其特征是所述两压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于基座上，设置与两压电体在其伸缩方向上为滑动配合的滑杆，在垂直于两压电体伸缩方向上设置将滑杆与两压电体自由端相压的正压力以及将滑杆与基座相压的正压力，在这三个正压力对滑杆产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。

2.根据权利要求1所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是所述滑杆通过滑杆弹性和/或基座弹性和/或增设弹性体与基座弹性相压，所述滑杆通过滑杆弹性和/或两压电体弹性和/或增设弹性体与两压电体的自由端弹性相压。

3.根据权利要求1所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是所述两压电体为一个完整压电体的不同部分或者所述两压电体和基座三者为一个完整压电体的不同部分，且所述两压电体的伸缩独立可控。

4.根据权利要求2所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是所述两压电体皆呈沿管形体中轴线剖开的半管形状，它们围合起来固定站立于环形基座上，构成管形双压电体结构。

5.根据权利要求4所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是滑杆置于所述管形双压电体结构之内，滑杆为管形或柱形，其两端分别沿滑杆中轴线方向向另一端切入但不完全切分离，滑杆两端外壁以弹力分别与环形基座的内侧以及两压电体自由端的内侧相压。

6.根据权利要求4所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是滑杆为管形并将所述管形双压电体结构套于其内，滑杆两端分别沿滑杆中轴线方向向另一端切入但不完全切分离，滑杆两端内壁以弹力分别与环形基座的外侧以及两压电体自由端的外侧相压。

7.根据权利要求1或2或3或4或5或6所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是在每个压电体自由端与滑杆间增设固定于该压电体自由端的传力块并以传力块对滑杆产生所述正压力。

8.根据权利要求7所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，其特征是在滑杆与基座之间和/或滑杆与两传力块之间设置静电力和/或磁力。

9.一种权利要求1所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器制成的扫描探针显微镜镜体，其特征是包括压电扫描管和所述双压电体并排推动的三摩擦力步进器，压电扫描管套于所述步进器之外，该压电扫描管的一端固定于所述步进器的基座上。

10.根据权利要求9所述扫描探针显微镜镜体，其特征是增设单向转轮或万向转轮，所述基座或压电扫描管的外壁固定于所述单向转轮或万向转轮上。