[发明专利]三或四压电体并行推进的步进器及其扫描探针显微镜镜体

权利要求书

1.一种三压电体并行推进的步进器，包括三个压电体、基座、滑块，其特征是所述三个压电体以三角形排布和伸缩方向平行的设置固定站立于基座上，设置与三个压电体在伸缩方向上为滑动配合的滑块，在垂直于三个压电体伸缩方向上设置将三个压电体的自由端与滑块相压的正压力，在这三个正压力对滑块产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。

2.根据权利要求1所述三压电体并行推进的步进器，其特征是所述滑块通过滑块自身的弹性和/或三个压电体的弹性和/或增设弹性体与三个压电体自由端相压。

3.根据权利要求1所述三压电体并行推进的步进器，其特征是所述三个压电体皆呈沿圆管轴向剖开的三分之一圆管形，它们围合成一个圆管形固定站于圆环形基座上，构成圆管三压电体结构。

4.根据权利要求1所述三压电体并行推进的步进器，其特征是所述三个压电体为整体设置，或者所述三个压电体与基座四者为整体设置。

5.根据权利要求1或2或3或4所述三压电体并行推进的步进器，其特征是在每个压电体自由端与滑块间增设固定于该压电体自由端的传力块并以传力块对滑块产生所述正压力。

6.一种权利要求1所述三压电体并行推进的步进器制成的扫描探针显微镜镜体，其特征是包括压电扫描管和所述三压电体并行推进的步进器，压电扫描管或套于所述步进器之外或置于其内，该压电扫描管的一端固定站立于所述步进器的基座上。

7.一种四压电体并行推进的步进器，包括四个压电体、基座、滑块，其特征是所述四个压电体以方形排布且伸缩方向平行的设置固定站立于基座上，设置与四个压电体在伸缩方向上为滑动配合的滑块，在垂直于四个压电体伸缩方向上设置将四个压电体的自由端或固定于四个压电体自由端的传力块与滑块相压的正压力，在这四个正压力对滑块产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它三个最大静摩擦力之和。

8.根据权利要求7所述四压电体并行推进的步进器，其特征是所述滑块通过滑块自身的弹性和/或四个压电体的弹性和/或增设弹性体与四个压电体自由端相压。

9.根据权利要求7所述四压电体并行推进的步进器，其特征是所述四个压电体皆呈沿圆管轴向剖开的四分之一圆管形，它们围合成一个圆管形固定站立于圆环形基座上，构成圆管四压电体结构。

10.根据权利要求7所述四压电体并行推进的步进器，其特征是所述四个压电体为整体设置，或者所述四个压电体与基座五者为整体设置。