[发明专利]CZ直拉法单晶炉石墨热场结构无效
| 申请号： | 200910116894.X | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101560691A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 马四海;张笑天 | 申请（专利权）人： | 芜湖升阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/16 | 分类号： | C30B15/16 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋光恩 |
| 地址： | 241100安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cz 直拉法单晶炉 石墨 结构 | ||
【权利要求书】：
1、一种CZ直拉法单晶炉石墨热场结构，所述的石墨热场结构包括热屏与气体导流装置，其特征在于：所述的热屏与气体导流装置上设热屏外层(3)和热屏内层(1)，所述的热屏外层(3)与热屏内层(1)之间设有间隙。
2、按照权利要求1所述的CZ直拉法单晶炉石墨热场结构，其特征在于：在所述的热屏外层(3)与热屏内层(1)之间的间隙中，设有填充碳毡(2)。
3、按照权利要求1所述的CZ直拉法单晶炉石墨热场结构，其特征在于：所述的热屏外层(3)采用斜面反射的结构。
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